超声波扫描显微镜.PDF

Questar China Limited 科视达(中国)有限公司 超声波扫描显微镜 超声波扫描显微镜的工作原理： 超声波扫描显微镜的工作原理是采用带有聚焦功能的高频超声波换能器，通过逐 点扫描的方式，检测材料内部，并形成一个材料内部结构的显微图像，目前最高 分辨率可大到微米级。 超声波扫描显微镜和光学显微镜的共同点和区别： 1，超声波扫描显微镜和光学显微镜一样，是显示被测样品的显微图像，所不同 的是光学显微镜检测的是样品表面的显微图像，超声扫描显微镜显示的样品 内部的显微图像； 图示1，光学显微镜显示半导体晶圆的表面 图示 2，超声扫描显微镜显示半导体晶圆内 显微图像 部的显微图像 2，光学显微镜采用的是可见光，超声扫描显微镜采用的是超声波； 3，超声扫描显微镜是通过图像的像素pixel 来体现显微图像的分辨率，和光学显 微镜中CCD 摄像头的像素分辨率一样； 4 ，应用领域一样，光学显微镜和超声扫描显微镜都是应用在半导体、材料行业 中，被检测的均为体积小，分辨率要求高的样品，分辨率在微米级以上； 5，光学显微镜，超声波扫描显微镜和电子显微镜、透射电镜一样，目的都是检 测样品的表面或内部的显微图像，只是采用的手段不同，光学显微镜采用可 见光，超声扫描显微镜采用超声波，电子显微镜和透射电镜采用电子束。 Room 1703-1705, Easey Commercial Building, 253-261 Hennessy Road, Wanchai, HK Tel: (00852) 2854 3911 Fax: (00852) 2854 3881 服务电话：上海 (021) 6508 7716 北京 (010) 6708 0981 深圳 (0755) 8379 0503 成都 (028) 8613 2718 邮箱：sales@ Questar China Limited 科视达(中国)有限公司 超声波扫描显微镜和普通超声波探伤仪的区别是： 1，超声波换能器的频率段不同，通常为 15-400MHz ，普通超声波探伤仪换能器 的频率在15MHz 以下； 2，超声波换能器具有聚焦功能，普通超声波探伤仪的换能器是不具有聚焦功能 的； 3，超声波扫描显微镜采用高精度的逐点扫描方式将被测材料的内部图像和缺陷 显示出来，形成内部结构的显微图像，普通超声波探伤仪只是单点检测材料 的内部波形，并不能形成图像； 超声波探伤仪对样品的检测 超声波扫描显微镜对样品的检测 Room 1703-1705, Easey Commercial Building, 253-261 Hennessy Road, Wanchai, HK Tel: (00852) 2854 3911 Fax: (00852) 2854 3881 服务电话：上海 (021) 6508 7716 北京 (010) 6708 0981 深圳 (0755) 8379 0503 成都 (028) 8613 2718 邮箱：sales@ Questar China Limited 科视达(中国)有限公司 图示3，超声波探伤仪只通过波形显示被测物 内部的损伤情况 图示4 ，超声波扫描显微镜可拍摄出被测物 内部的显微图像 4 ，通过接受内部波形的门限选择，超声波扫描显微镜可以象CT 一样，对被测材 料的内部结构进行断层扫描，显示出每一层的显微图像； 图示5，超声扫描显微镜可以象 CT 一样显示被测样品内部的断层图像，超声波探伤仪无法 做到 5，应用领域不一样，超声波探伤仪都是用于大型金属结构的内部探伤，比如铁 路桥梁、飞机轮船，石油管道等；超声扫描显微镜都是应用于半导体器件， 微小加工材料的内部检测； 6，应用功能不一样，超声波探伤仪探测的是大型金属结构内部的损伤情况，超 声波扫描显微镜显示的是样品内部结构的显微组织图像，包括导线排列，金 相组织结构等； 因此由于以上的区别，超声波扫描显微镜的功能和作用和光学