微晶硅nip太阳电池中n型掺杂层对本征层结构特性的影响!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 0$ 2 ##/ 2 ， ， ， GX9 *0$ ]X *2 3)? ##/ （ ） %###-(#+##/+0$ #2 +/(-#2 R4QR F1\CP4R CP]P4R ##/ 4U,) * FU:T * CXA * 微晶硅 太阳电池中 型掺杂层对本征层 !#$ ! 结构特性的影响! ! 袁育杰 侯国付 薛俊明 韩晓艳 刘云周 杨兴云 刘丽杰 董 培 赵 颖 耿新华 （南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，光电信息技术科学教育部重点实验室， 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室，天津 ###$%） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##$ $ ’ ##$ %# ( 采用高压射频等离子体增强化学气相沉积方法在非晶和微晶两种 型硅薄膜衬底上沉积了一系列不同厚度 ) 的本征微晶硅薄膜，研究了不同) 型硅薄膜对本征微晶硅薄膜的表面形貌、晶化率和结晶取向等结构特性的影响* 结果表明，本征微晶硅薄膜结构对 型掺杂层具有强烈的依赖作用，微晶 型掺杂层能够有效减少 界面非晶孵 ) ) )+ , 化层的厚度，改善本征微晶硅薄膜的纵向均匀性，进而提高微晶硅)-,-. 太阳电池性能* 关键词：孵化层，微晶硅薄膜，纵向均匀性， 太阳电池 )-,-. ： ， ， %’’ /%%01 /2#3 2/00 结构演变过程，并分析了造成这种差异的原因* %B 引 言 B 实 验 与非晶硅（ ：）太阳电池相比，微晶硅（ 8-C, 1 A- ! ［］ % 首先，在玻璃上沉积非晶和微晶两种 型硅薄 C,：）太阳电池具有较好的稳定性 和较宽的光谱 ) 1 ［］ 响应范围 而成为研究的热点 根据各层沉积顺序 膜，薄膜厚度约为0 )7 * 使用相同工艺条件在两种 * 的不同，微晶硅太阳电池可分为.-,-) 和 )-,-. 两种 衬底上沉积不同厚度的本征微晶硅薄膜，以研究不 同 层对本征层结构特性的影响 其次，在不同 层 结构* )-,-. 结构可以沉积在不锈钢和塑料等不透明