透明导电薄膜溶剂热AZO薄膜乙二醇甲醚乙醇耔晶层.doc

透明导电薄膜论文：溶剂热AZO薄膜乙二醇甲醯乙醇籽晶层 【提示】本文仅提供摘要、关键词、篇名、目录等题录内容。为中国学术资源库知识 代理，不涉版权。作者如有疑义，请联系版权单位或学校。 【摘要】近年来，掺铝ZnO (AZO)透明导电薄膜由于材料丰富、 无毒、化学稳定性高、优异的光电性能等特点受到很大的关注，目前, 制备AZO薄膜的方法很多，其中溶剂热法以其设备简单、成本低、低 温等优点而成为制备ZnO薄膜的最佳方法。本文采用溶剂热法在普通 玻璃基片上沉积生长AZO薄膜，以二水合乙酸锌为前驱体，六水合氯 化铝为掺杂剂，乙醇胺为稳定剂，分别以乙二醇甲醸和乙醇作为溶剂, 考查温度、沉积时间、前驱液浓度、掺杂原子比等对AZO薄膜表面形 貌和光电性能的影响，优化最佳反应条件，进行性能对比；同吋以乙 醇作为溶剂考查在镀有ZnO籽晶层的玻璃基片上制备的A1掺杂ZnO 薄膜的性能。所有样品通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、 荧光光谱仪、紫外-可见分光光度计、四探针测试仪等手段对其进行 性能表征。结果表明，所有样品都具有纤锌矿结构，没有杂质相产生。 在无籽晶层的玻璃基片上沉积形成的AZO薄膜,都沿着C轴择优生长, 分别以乙二醇甲瞇和乙醇作为溶剂制备的AZO薄膜，综合光电性能， 乙醇比乙二醇甲醴得到的AZO电学性能更优，最小方块电阻为 139. 9K；在光学性能及薄膜结构方面，乙二醇甲醸作为溶剂比乙醇制 备的掺A1氧化锌薄月莫透过率高很多，平均透过率为92.41%,薄膜表 面形貌致密紧凑，粗糙度小。而在有溶胶-凝胶制备的ZnO籽晶层的 基片上结晶形成的AZO薄膜，温度的高低会出现不同方向生长的情 况，综合考虑光电性能，在温度120°C,前驱液浓度0. lmol/L,沉积 时间18h,掺铝比0. 03时,薄膜性能最优,所得到的AZ0薄膜最小方 块电阻22. 0MQ,平均透过率达到90%以上。 【关键词】透明导电薄膜；溶剂热；AZ0薄膜；乙二醇甲醯；乙 醇；籽晶层； 【篇名】溶剂热法制备掺铝ZnO透明导电薄膜 【目录】溶剂热法制备掺铝ZnO透明导电薄膜 摘要 4-5 Abstract 5~6 第 1 章绪论 10-18 1. 1 课题 背景10-11 1.2 Zn0的基本性质及晶体结构 11-13 1. 2. 1 ZnO的基本性质 11-12 1.2.2 ZnO的品体 结构12-13 1. 3 ZnO的能带结构13-14 1. 4 ZnO薄膜的 制备方法 14-17 1.4. 1磁控溅射法 14 1.4.2喷雾热解 法 14-15 1. 4. 3脉冲激光沉积法15 1.4.4化学气相沉 积法15 1.4.5溶胶-凝胶法15-16 1.4.6电化学沉积 法16 1.4.7溶剂热法16-17 1 .5 主要研究内容 17-18 第2章实验方法18-24 2. 1实验材料 18-19 2. 1. 1实验药品18 2. 1 .2 实验设备 18-19 2.2薄膜的制备工艺19 2. 3薄膜表征 19-24 2. 3. 1紫外-可见光光谱(UV-Vis) 19-20 2. 3. 2 荧光光谱 (PL) 20-21 2. 3.3 X 射线衍射(XRD) 21-22 2. 3.4原子力显微镜(AFM) 22-24 第3章不同 溶剂制备的掺铝ZnO薄膜性能表征24-58 3. 1乙二醇甲醵作 为溶剂24-34 3. 1. 1沉积时间对AZO薄膜性能的影响 24-27 3. 1. 2温度的变化对AZO薄膜的影响 27-30 3. 1. 3前驱液浓度对AZO薄膜性能的影响 30-32 3. 1.4掺铝浓度对AZO薄膜性能的影响 32-34 3.2乙醇作为溶剂34-51 3.2. 1生长温度对 AZO薄膜性能的影响34-38 3. 2.2沉积时间对AZO薄膜的影 响 38-42 3. 2.3溶胶浓度对AZO膜性能的影响 42-44 3. 2.4掺铝浓度比对AZO膜性能的影响 44-47 3. 2.5试验的方差分析47-51 3. 3两种溶剂最 优条件下的 AZO薄膜性能对比51-53 3. 3.1电学性能对比 51 3.3.2光学性能对比51-52 3. 3.3 X射线衍射对比 52-53 3. 3. 4原子力显微镜图对比53 3. 4相同条件下 不同溶剂对AZO薄膜性能影响53-56 3. 4. 1电学性能 53 3.4.2光学性能对比53-55 3.4.3 X射线衍射图谱 对比55 3.4.4原了力显微镜图对比55-56 3.5木章小 结 56-58 第4章溶剂热法在掺铝ZnO涂层上制备AZO薄膜 及其性能的研究58-75 4. 1温度对AZO透明导电薄膜性能的 影响58-64 4. 1. 1 X射线衍射分析58-59 4. 1. 2薄膜 厚度和晶