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生产工艺培训 电池工艺 ：崔东洋 2013.7.25 内容提要 2 1.太阳能电池相关概念 及基本原理 2.电池生产工艺流程 2.1 前清洗 2.2 扩散 2.3 后清洗 2.4 PECVD 2.5 丝网 3.电池工艺对生产人员 的要求 本次培训对参与者的要求：简单了解内容1和2，掌握每道工序的工艺目的，牢记内容3 3 1.太阳能电池相关概念及基本原理 4 太阳能在生活中的应用 太阳能汽車 太阳能发电站 人造卫星上的太阳能电池 太阳能热水器 太阳能飞机 6 1.1基本概念 1.1.1半导体 常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料，叫做半导体（semiconductor）。 7 1.1.2半导体的分类 8 p型半导体（受主掺杂）--接受自由电子 p型半导体的空穴为多子 电子为少子 9 n型半导体（施主掺杂）--提供自由电子 n型半导体的电子为多子 空穴为少子 10 1.1.3少子寿命 在光照等激发下，价带电子会越迁到导带，产生非平衡载流子，当激发源撤离以后，这些非平衡载流子会复合而消失。非平衡载流子的平均生存时间为非平衡载流子的寿命。由于相对于非平衡多子,少子的影响处于主导的、决定的地位，因而非平衡载流子的寿命常称为少子寿命。 11 1.1.4 p－n结 12  所谓光生伏打效应就是当物体受光照时，物体内的电荷分布状态发生变化而产生电动势和电流的一种效应。当太阳光或其他光照射半导体的 PN 结时，就会在 PN 结的两边出现电压 , 叫做光生电压。这种现象就是著名的光生伏打效应。  1.1.5 光生伏打效应 它的工作原理可以概括成下面几个主要过程：第一，必须有光的照射，可以是单色光，太阳光或我们测试用的模拟太阳光源。第二，光子注入到半导体后，激发出电子—空穴对。这些电子空穴对必须有足够的寿命保证不会在分离前被附和。第三，必须有个静电场（PN结），起分离电子空穴的作用。第四，被分离的电子空穴，经电极收集输出到电池体外，形成电流。 1.1.6 太阳能电池的原理 太阳电池是利用光生伏特效应，把光能直接转换成电能的一种器件。 14 2.电池生产工艺流程 15 光伏产业链 POCL3掺杂 (扩散制PN结） PECVD （镀SiNx 膜） 丝网印刷Al /Ag 制造太阳能电池片的基本工艺流程 前清洗（腐蚀制绒） 后清洗（边缘刻蚀/去PSG） 丝网印刷Al 丝网印刷 Ag 烧结/测试/分选 17 2.1 前清洗工艺简介 制绒按工艺不同可分为碱制绒和酸制绒： 利用碱溶液对单晶硅不同晶面有不同的腐蚀速率（各向异性腐蚀），对（100）面腐蚀快，对（111）面腐蚀慢。如果将(100)作为电池的表面，经过腐蚀、在表面会出现以 (111)面形成的锥体密布表面（金字塔状），称为表面织构化。 但是对于多晶硅，由于晶体排列方式杂乱，如果利用碱液，无法进行腐蚀得到良好的金字塔织构化表面，此时只能用酸溶液进行各向同性腐蚀，获得表面存在许多凹坑的表面结构，也能起到良好的陷光作用。 2.1.1 制绒工艺的分类： 19 单晶硅片碱制绒绒面形状 多晶硅片酸制绒绒面形状 2.1.2 陷光原理： 光在光滑半导体薄片表面上的 反射、折射和透射 陷光原理图 当入射光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面形成二次吸收或者多次吸收，从而增加吸收率。 在绒面硅片上制成PN结太阳电池，它有以下特点: (l)绒面电池比光面电池的反射损失小，如果再加减反射膜，其反射率可进一步降低。----降低反射率 (2)入射光在光锥表面多次折射，改变了入射光在硅中的前进方向，不仅延长了光程，增加了对红外光子的吸收，而且有较多的光子在靠近PN结附近产生光生载流子，从而增加了光生载流子的收集几率。----增加对光的吸收 (3)在同样尺寸的基片上，绒面电池PN结面积比光面大得多，因而可以提高短路电流，转换效率也有相应提高。----增加表面积，增加扩散制PN结的面积 (4)绒面也带来了一些缺点:一是工艺要求提高了；二是由于它减反射的无选择性，不能产生电子空穴对的有害红外辐射也被有效地耦合入电池，使电池发热；三是易造成金属接触电极与硅片表面的点接触，使接触电阻损耗增加。 2.1.3 制绒对太阳能电池的影响 RENA Intex前清洗设备 2.1.4 RENA Intex前清洗（酸制绒）工艺 2.1.4.1 RENA前清洗工序的目的： 去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤） 清除表面油污（利用HF）和金属杂质（利用HCl） 形成起伏不平的绒面，增加对太阳光的吸收