MEMS开关供电线及过孔对微带贴片天线性能的影响.PDF

第 9 卷 第 4 期 信 息 与 电 子 工 程 Vo1．9，No．4 2011 年 8 月 INFORMATION AND ELECTRONIC ENGINEERING Aug．，2011 文章编号： 1672-2892(2011)04-0453-05 MEMS 开关供电线及过孔对微带贴片天线性能的影响 李林翠，杨 春，李相森，王 军 ( 中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 621900) 摘 要 ：采用数值分析研究了微电子机械系统(MEMS)开关直流供电线及接地过孔对微带贴片 天线性能的影响。研究表明，当 MEMS 开关应用于天线辐射部分时，MEMS 开关的直流供电线和接 地过孔对天线的匹配频带有较大影响，而且金属过孔的影响较直流供电线的影响更大。因此若采 用金属条等效 MEMS 开关研究可重构天线时，应适当调整微带贴片天线的电尺寸，以求仿真结果 更加逼近实测结果。 关键词 ：微电子机械系统开关；直流供电线；接地过孔 中图分类号 ：TN822+ .4 文献标识码 ：A Influence of MEMS switch ’s DC-line and via on antenna performance LI Lin-cui，YANG Chun，LI Xiang-sen，WANG Jun (Institute of Electronic Engineering，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621900，China) Abstract： The effects of MEMS switch ’s bias-line and via on the performance of patch antenna are studied through numerical analysis. The results show that if MEMS switch is used to the radiating part of antenna directly, the working band of antenna will be greatly influenced by MEMS switch ’s bias-line and via, and the influence of via is greater than that of bias line . The dimensions of antenna should be adjusted slightly if MEMS switch is substituted by ideal metal strips, to ensure that the simulating result should agree well with the experimental one. Key words： micro electro mechanical systems switch；DC-line；via MEMS 开关具有工作频带宽、线性度好、隔离度高、驱动功耗低、截止频率高等优点，其在微波领域得到 广泛应用，如利用 MEMS 开关组成 MEMS 移相器，利用 MEMS 开关构建不同要求的可重构天线 (包括频率可重 构天线、极化可重构天线和方向图可重构天线)等。开关的结构如图 1 所示，其 CPW 地线需要通过接地过孔接地， 外接的直流供电线与 Bias Pad 相连，以提供驱动开关的直流电压。 在可重构天线中，因需求目的不同，有的将 MEMS 开关安装在天线的