V型沟槽Si衬底上SrTiO3薄膜制备-JournalofNortheasternUniversity.PDFVIP

第32 卷第11期 东 北 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) V o l. 32, No. 11 2 0 1 1 年 11 月 Journal of Nort heastern U n vers ty( N atural Sc ence) N o v. 2 0 1 1 V Si SrTiO 3 王 旗, 于晓明, 祁 阳 ( , 110819) : S ( 100) S ( 110) V, ( L PD) ( RF magnetr on sputter ng) SrT O ( ST O) . 3 , L PD ST O ; , ST O . , ST O .