砷化镓制程专用无尘氮气柜CM8180.ppt

抛光片、外延片、芯片专用无尘氮气柜 CM8180 博士门– 上海宝品 HTTP//：WWW.BOSSMEN.COM 周新 TEL：021*804 外延片制程中无尘氮气柜的使用阶段 1.抛光片镀膜充热氮烘干后 （此阶段属于回温过程，需要一个稳定安全干燥的环境）主要作用在于回温或环境温度变化过程中,制品须保持在安全干燥的环境中 ■2.成品完成检验包装前 （此时刚完工的外延片都处于待检状态，而它的存放除了需要一个稳定安全干燥的环境外，更要考虑其存放环境的洁净度以及静电的问题）主要作用在于产品出厂出货后不产生返雾或粉尘颗粒超标状况 需求条件 洁净度需达到Class 10. 柜内静电需达到1 KV以下. 氮气节能效果 CM1001柜体规格 柜体尺寸：W1250mm*H2450mm*D850mm 层板数：5片 柜内容积：1,510L 柜体材质：SUS 430 总耗电量：170w 洁净功能 柜内粉尘透过柜体后方回风系统搭配美国进口超高效过滤网，反复循环过滤，柜内洁净等级可保持在Class10. 颗粒状况试验 流程：经ATIS清洗后的抛光片TENCOR3检测1;后放置干燥柜内1天，TENCOR3检测2检测. 内部洁净度要求为：=10ea@0.3um =20ea@0.2um。测试可知：干燥柜内部环境合格. 静电消除功能 在柜内顶部加装平板式静电消除系统，使得充入柜内的氮气透过放电针、将正离子及负离子加入柜内，并配合柜内超高效过滤系统将氮气、正离子及负离子均匀分布在柜内，综合柜内存放物品(如晶周盒)本身所附带之正离子及负离子，达到消除柜内静电效果。 平板式静电消除器效果图 氮气节能功能 透过博士门氮气节能湿度监控系统(N2HT)，利用湿度的设定控制氮气流量，即湿度降至设定值后，即停止氮气流入，以节省氮气用量。 N2HT介绍 显示屏幕: 2.3”LED大屏幕数字显示湿度及温度 温度及湿度记录功能： 1.内建内存，可储存11,900笔温度/湿度，收集时间(分钟)可自行设定。 2.可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。 3.采品管记录格式设计，有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式(可转 EXCEL格式) 。 湿度警报系统： 1.可设定启动警报的湿度值及条件。 2.内配蜂鸣器（90分贝）及闪烁警示功能。 温湿度偏移校正功能：内建校正功能，永保显示精准度。 系统可升级设置(无线传输系统) 数据分析软件 无尘氮气柜使用实物图 Thank you for your attention!! * * 平板式静电消除器 回风系统 超高效过滤网 柜体侧视图 柜体正视图 回风系统控制面板 N2HT控制面板 颗粒平均数略有上升，属正常 Bossmen Inc.Shanghai Bao-Pin Electronic Tech. Co., Ltd.Tel:86-21804Sales Engineer : 周新叶 H/P:  博士门无尘氮气柜国内现有客户有：北京有研、天津中环领先、上海合晶、上海晶盟等 --------CM1001您最值得信赖的选择! * * * * *