精密研磨.PPT

Student: wenjheng Lin Adviser: Liren Tsai Precise grinding polishing Outline Introduction-----------------------------------------------(4) 超精密研磨方法-----------------------------------------(5) 彈性發射加工--------------------------------------------(6) 彈性發射加工示意圖 彈性發射加工裝置 浮動研磨--------------------------------------------------(10) 浮動研磨機 磁力研磨--------------------------------------------------(12) 磁力研磨機 電解磁力研磨--------------------------------------------(14) 電解磁力研磨示意圖 電解磁力研磨機 Outline 製程中電解削銳-----------------------------------------(17) 製程中電解削銳示意圖 化學機械研磨--------------------------------------------(19) 化學機械研磨示意圖 化學機械研磨機 超音波震動研磨-----------------------------------------(22) 異形電極式超音波研磨 螺旋電極式超音波研磨 超音波震動研磨機 References-----------------------------------------------(26) Introduction 超精密加工技術標誌著一個國家機械製造業的水準，在提高光機電產品的性能、品質、壽命和研發高科技產品等方面具有十分重要的作用。當前，超精密加工是指加工誤差小於0.01μm、表面粗糙度小於Ra0.025μm 的加工，又稱之為亞微米級加工。現在，超精密加工已進入納米級，稱之為納米加工。 研磨或者拋光(Lapping or Polishing)是使工件產生平滑鏡面的超精密研磨技術，其目的在於使表面粗糙度及平坦度到達一定的可容許範圍，常被廣泛的使用在硬脆金屬、陶瓷、玻璃及晶圓等材料表面的精密加工。 超精密研磨方法 #基於機械作用的超精密研磨方法: 基於機械作用的超精密研磨拋光方法是依靠微細磨粒的 械作用對被加工表面進行微量去除，達到高精度的加工表 面。 機械研磨、彈性發射加工、浮動研磨、磁力研磨、電解磁力研磨、 ELID研磨 # 基於機械化學作用的超精密研磨方法: 機械化學研磨是在微粉粒子的撞擊和研磨液的化學作用 產生研磨作用，去除工件表面的微量材料。 化學機械研磨 超音波振動研磨 彈性發射加工(EEM) 加工時使用聚氨脂球作加工頭，在高速旋轉的加工頭與被加工工件表面之間加上含有微細磨粒（0.1～0.01μm）的研磨液，並產生一定的壓力。通過高速旋轉的加工頭所產生的高速氣流及離心力，使磨粒衝擊或擦過工件表面，產生彈性破壞物質的原子結合，從而去除工件表面的材料。 彈性發射加工示意圖 彈性發射加工示意圖 Interactions Between Surfaces of Ultra-fine Powders and Works Interactions Between Surfaces of Ultra-fine Powders and Works (a)Surface structures before interaction. (b)Hydrogen bonding between two surface. (c)Interface structure. (d)Separation of adsorbed powder with work atom removals. 彈性發射加工裝置 非接觸加工裝置 動壓軸項軸承構造 它利用流體力學原理使拋光器與工件浮離，在拋光器的工件表面做出了若干楔槽，當拋光器高速旋轉時，由於油楔的動壓作用使工件或拋光器浮起，其間的磨粒就對工件表面進行拋光。 浮動研磨 浮動研磨機 浩碩科技 型號:AGT 900GS 0.084板厚浮動式四軸薄板研磨機 .tw/images/AGT1.jpg 圖片可能受版權保護。 下列圖片位於：.tw/AGT900.htm 磁力研磨是利用磁場將磁性磨料聚集在工件與磁極間之工作間隙內，這些聚集的磁性磨料在磁場的作用下形成一束撓性