原创力文档第卷第期光学精密工程年月文章编号一种压电驱动微操作器及其释放位置精度分析吴建华褚家如中国科学技术大学工程科学学院安徽合肥摘要报道了一种利用压电陶瓷双晶片驱动的适用于尺寸在之间微器件装配操作的微操作器夹持臂尖端直径约在的电压驱动下闭合约的距离通过理想操作模型分析了微器件释放的位置误差来源和提高微器件释放位置精度的方法并进行了高分子小球的排列和释放实验在相对湿度的环境下对直径约的高分子小球的操纵中实现了的释放位置精度实验表明本微操作器能高精度地完成微器件的拾取移动和释放操作关键词微操作器位置精度压电
第 卷 第 期 光学 精密工程
１３ ３
Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．３
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
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