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扫描电子显微镜技术 Scanning Electron Microscope SEM基本参数 放大率 　　 在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率=屏幕／照片面积除以扫描面积。 场深 　　在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。 SEM基本参数 作用体积 　　 电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。 　作用体积的厚度因信号的不同而不同： 　次级电子：5λ，对于导体，λ=1纳米；对于绝缘体，λ=10纳米。 　背散射电子：10倍于次级电子。 　特征X射线：微米级。 　X射线连续谱：略大于特征X射线，也在微米级。 SEM基本参数 工作距离 　　工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。 　 工作距离↑，其他条件不变的情况下获得更大的场深。 工作距离↓，其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。 　 通常使用的工作距离在20毫米到25毫米之间。 SEM的应用 (1)生物：种子、花粉、细菌…… (2)医学：血球、病毒…… (3)动物：大肠、绒毛、细胞、纤维…… (4)材料：金属、陶瓷、纳米材料、粉末…… (5) 工业：冶金、矿物、导电性样品，电子材料 …… SEM的应用实例 碳纳米管的内径只有1-5 nm,通过将碳纳米管通过化学气相沉积法负载在陶瓷基体上制成碳纳米管膜，可以有效滤除空气中的细菌病毒，（空气平均动力学直径≈0.4 nm,细菌：微米级，病毒：≈100 nm） 碳纳米管膜内径远小于空气中微生物直径，大于气体动力学直径，可高效作为空气净化器滤菌。 碳纳米管膜不仅能滤菌，本身也具有超强的杀菌性能，实为一种优良的气体过滤纳米材料。 参考文献 1 扫描电子显微镜成像信号分析，陈长琦,干蜀毅 2 扫描电子显微镜及其分析技术简介，李伟 3 Scanning Electron Microscope Observation on Floral Organs and Leaf Epidermis of F.suspensa,Medicinal Plant 2012,3(8): 1-3,8 4 扫描电子显微镜的结构及对样品的制备，王醒东，林中山 5 扫描电子显微镜分析，金嘉陵 6 扫描电子显微镜精确度调整技术，陈伟之 7 Observationon Non·conductive Powder by Electron Microscope ,YuanhuiMab Applied Mechanics and Materials Vol.320(2013),226-229 8 常规扫描电子显微镜的特点和发展，干蜀毅 9 SiO2/Si 基片上单壁碳纳米管的扫描电子显微镜成像机理，张礼杰，黄少铭 10 扫描电子显微镜在肉瓷微观研完中的应用，任超 11 扫描电子显微镜下单壁碳纳米管的原位操控与性能，董幼青 12 扫描电子显微镜原理及特点，武开业 13 J.Lu,L,WangandW.Q.Huang:J.Chin.Eleetr.Mierose.Soe.Vol.24(2005),No.4 ,P.388 谢谢！ * 制样方便简单，反映样品真实形貌； 试样在样品室内移动自由度大，可在三维空间内平移、旋转、倾斜。 景深比普通光学显微镜高两个数量级。 几十到几十万倍范围可调； 普通光学显微镜分辨率2000埃以下，SEM在40埃以上； 电子探针电流小，电子束直径小，电子能量低，并且在样品表面做光栅状扫描，不固定照射，因而试样损伤和污染程度较小。 报告内容： SEM的发展 SEM的基本知识 主要内容 SEM的应 用实例 Introduction Challenges Forward *1952年，英国工程师Charles Oatley制造出了一台扫描电子显微镜(SEM)。 * 我国1973年开始引进扫描电镜并开始自行研发和设计 扫描电SEM的发展镜的 *1965 第一部商用SEM出现（Cambridge) SEM的 SEM的基本知识结构与原理 扫描电镜作为近代研究表面微观世界的一种全能电子光学仪器， 是一个浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构 以及现代计算机控制的复杂系统 。 信号检测 放大系统 真空系统 电源系统 电子光 学系统 SEM的结构组成 SEM SEM的结构与原理 Sub Text 利用电子束作为照明源，电子束经过聚焦，变成极细（φ5nm以下）电子探针，在试样表面作光栅状扫描，其高能量电子与所分析试