基于MCM的光互连关键技术研究-微电子学与固体电子学专业论文.docx

万方数据 万方数据 摘要 摘要 光互连与光纤通信技术有着非常密切的联系。正是由于光通信技术的巨大成 功，用于短距离的光互连随之备受关注。现代信息社会的信息传输量和传输速度 的增长体现在电子信息技术的各个领域。MCM 中的金属互连瓶颈是其中一个重 要实例。 随着光互连技术在 MCM 中的应用，人们对 MCM 光互连的研究日益深入。 集中体现在光互连的距离大大降低和传输速率的迅速增长。MCM 光互连的互连 距离取决于其互连层次。随着互连层次深入到 MCM 内部，其互连距离越来越短， 互连密度越来越高。MCM 中的光互连构成方式将面临更大的考验。 本文首先概括了 MCM 的相关知识，总结了 MCM 光互连的基本结构，并对 实现 MCM 光互连的关键技术作了有益的探讨。并结合对关键技术的有益探讨， 确定本文的主要工作。主要内容是对 MCM 光互连接收机中的限幅放大器和前置 放大器设计，以及对低损耗的 Y 分支结构 SiO2 光波导设计。设计了一种传输速 率 2.5Gbps 的差分结构跨阻放大器和一种带有级间有源负反馈的多级限幅放大 器，分别采用 0.35μm 和 0.18μm 的 CMOS 工艺。通过软件仿真验证，两种结构 都实现了设计目标，可以用于光互连接收机系统。文章最后，在对光波导相关理 论研究的基础上，设计验证了一种带有多模干涉过渡区的 Y 分支结构光波导，具 有改善的损耗性能和较短的结构长度，有助于高性能光波导器件的设计与制作。 关键词：光互连 MCM 关键技术 光接收机 光波导 摘要 Abstract Abstract Optical interconnection technology is definitely derived from the optical communication technology.Because of the enormous success of long distance optical communication technology, short distance optical interconnection technology has attracted much attention.The transmission speed and quantity of the information transmission of modern information society increase rapidly ， was reflected in many fields of electronic information technology.Electrical interconnection bottleneck in MCM is an instance. With the application of optical interconnection in MCM, attention for MCM optical interconnection increase rapidly.Embodied in the greatly reduced distance of the optical interconnection and the rapid growth of transmission rate.Optical interconnection distance depends on the interconnection level in MCM. As interconnection level deep into MCM, its interconnection distance becomes shorter, interconnection density is higher.So higher requirements for optical interconnection forms in MCM has been put forward. In this paper,summarized the knowledge about MCM,introduced the basic structure of MCM optical interconnection,and discussed the key technology of MCM optical interconnection.With the discussion of MCM optical interconnection key technology , the main research content of this article is d