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Low Energy Electron Diffraction
;低能电子衍射（LEED）：描述的是这样一种现象，当把一个单一低能量的(能量范围大约从5ev到500ev)电子束，以接近于垂直的方向投射到具有完整晶格结构的晶体清洁表面上时，电子束将与表面晶格发生作用；一部分电子以相干散射的形式反射到真空中，所形成的衍射束进入可移动的接收器进行强度测量，或者再被加速至荧光屏，给出可观察的衍射图像。 ; 电子束中的入射电子只能进入表面几个原子层的深度。随着能量降低，透入深度也减小，从LEED得到的信息是晶体的表面结构，因此LEED是研究单晶表面层原子排列的一种有效方法。 固体表面研究是材料科学中发展最快的部分，而低能电子衍射(LEED)是研究表面微观结构的最重要的技术，它提供表面的晶体学信息。 ;;
;;低能电子衍射系统有各种设计，但是基本结构如图所示，衍射电子可用两种不同的接收器来探测，一种用法拉第接收器，另一种用屏幕显示。
试样放在一个夹具上，可绕一个或多个轴旋转以便变换电子入射角。夹具上可以出电引线、装入电阻加热元件、加上冷却器如液氮冷却或装接热电偶等，正对试样的是一个提供入射电子的电子枪，电子束流约为几个微安。; 低能电子束的接收一般使用球栅减速场能量分析系统，即所谓的LEED系统。LEED系统使用球栅型减速场能量分析器。
通过此系统选择出弹性衍射电子，并经过加速后打到荧光屏上，就能看到电子束的衍射斑点或环。低能电子在固体表面上的衍射斑的结构，依赖于固体的表面结构。
; 系统对电子枪的要求是比较高的。这是因为低能电子衍射所要求的入射电子束应该是单色、平行并具有一定束流强度（1-4uA）的电子束。
电子枪中要使用低温阴极，使从
阴极发射出来的电子具有较小的
初速度。;电子枪的长漂移管结构;;3 低能衍射实验方法;3 低能衍射实验方法;3 低能衍射实验方法;低能衍射在表面结构分析中的应用;
表面结晶学及微观结构；;LEED的优势;LEED的劣势 尽管低能电子衍射在现代表面研究中占有很重要的地位，但比???俄歇电子谱方法来局限性要大得多。
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