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第二篇 材料电子显微分析 第八章 电子光学基础 第九章 透射电子显微镜 第十章 电子衍射 第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析 第十二章 高分辨透射电子显微术 第十三章 扫描电子显微镜 第十四章 电子背散射衍射分析技术 第十五章 电子探针显微分析 第十六章 其他显微结构分析方法 第十四章 电子背散射衍射分析技术 本章主要内容 第一节 概 述 第二节 电子背散射衍射技术相关晶体学基础 第三节 电子背散射衍射技术硬件系统 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 第五节 电子背散射衍射技术成像及分析 第六节 电子背散射衍射技术数据处理 第一节 概 述 电子背散射衍射(EBSD)技术，开始于20世纪80年代，该技术是基于扫描电子显微镜为基础的新技术 利用此技术可以观察到样品的显微组织结构， 同时获得晶体学数据，并进行数据分析 这种技术兼备了 X 射线统计分析和透射电镜电子衍射微区分析的特点， 是X射线衍射和电子衍射晶体结构和晶体取向分析的补充 电子背散射衍射技术已成为研究材料形变、 回复和再结晶过程的有效分析手段，特别是在微区织构分析方面的应用 第一节 概 述 EBSD的发展大致经历以下几个阶段： 1928年，日本学者Kikuchi在透射电镜中，首次发现了带状电子衍射花样，并对此衍射现象进行解释， 故称这种线条花样为菊池花样 197