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本课程的内容构架 ★什么是光学薄膜 ★光学薄膜的发展历史 ★光学薄膜的应用 光学薄膜种类: 1.减反射膜 Antireflection coatings 2.高反射膜 High-reflectance coatings 3.中性分束膜 Neutral beam splitters 4.截止滤光片 Edge filters 5.带通滤光片 Band-pass filters 6.偏振分光膜 Polarizing beam splitters 7.相位膜 Phase coatings * 第*页 * 第*页 西安工业大学 光学薄膜技术 Optical thin films and Technology 绪论 第一章：薄膜光学特性计算基础 第二章：介质膜系及其应用 第三章: 光学薄膜制备技术 第四章：光学薄膜制备工艺 第五章: 薄膜材料及其性质 第六章：光学薄膜特性测试 主要内容： 主要论述层状媒介的光学特性。薄膜是一薄的层状媒介，是构成现代各种光电器件的基础。在薄的膜层中，光波的传输与电子效应都与其在块状材料中的行为不同。本课程主要讲述波在层状媒介中的传播规律、膜系设计以及薄膜的制备于检测技术。 研究范畴及内容： 光学薄膜技术 薄膜设计基本理论 光学薄膜基本种类 薄膜制造技术 薄膜制造工艺 减反射膜 高反射膜 截止滤光片 带通滤光片 偏振分束膜 消偏振膜 光学特性计算：导纳矩阵 真空技术、薄膜沉积技术 工艺参数、实验设计、厚度监控 薄膜材料及其性质 微观结构、常用材料 薄膜特性测试 光学特性测试 非光学特性测试 课程目的： 了解光学薄膜的基础理论及典型膜系，掌握简单的膜系设计方法； 了解薄膜制备方法及相关工艺，了解常用光学薄膜的性能 指标及相关检测方法； 对有志从事薄膜领域工作的同学起到抛砖引玉的作用； 对从事其他学科研究、应用的同学起到了解光学薄膜、应用光学薄膜、用好光学薄膜的作用。 课程特点： 人类生活在周围充满光的世界里，光是一种无时无刻都会遇到的自然现象。更重要的是：光是信息的重要载体，“有光就有膜 ”，薄膜光学是现代光学必不可少的基础技术，它是物理光学的一个重要分支。——专项技术。 另一方面，由于光学薄膜的制备过程与真空技术、表面物理、材料科学、等离子体技术等密切相关，所以光学薄膜也可以称得上是一门——综合学科； 薄膜光学技术随着现代科学技术的发展而迅速发展，特别是计算机技术给薄膜理论分析带来了巨大的方便。 主要参考文献 H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters , Bristol Philadelphia, 2001 2.麦克劳德，光学薄膜从设计到制造，2003，（讲座报告） 3.唐晋发，顾培夫，刘旭，等，现代光学薄膜技术，浙江大学出版社, 2006 4. 唐晋发，郑权，应用薄膜光学，科学技术出版社，1986 5. 唐晋发，顾培夫，薄膜光学与技术，机械工业出版社,1989 6. 李正中，薄膜光学与镀膜技术，艺轩图书出版社 , 2001 7. 林永昌，卢维强，光学薄膜原理，国防工业出版社 ,1990 8. 顾培夫，薄膜技术，浙江大学出版社，1990 9.H.K.Pulker, Coating on Glass, Elsevier ,1984 10. 严一心，林鸿海，薄膜技术，兵器工业出版社，1994 主要膜系设计软件 1. Autofilm 2. TFC 3. Macleod 4. Optilayer 绪 论Introduction 光学薄膜是指控制光束行为的薄膜。 光学薄膜技术是光学技术的一个重要分支，它包括薄膜光学及薄膜制备技术，前者研究光在分层媒质中的传播规律，后者研究光学薄膜的各种制备技术。 在今天，光学薄膜技术已经成为现代光学技术中不可缺少的一个重要组成部分。没有任何一个光学系统里不使用光学薄膜。 1. What is optical thin films 什么是光学薄膜？ 可以用三个常用的英文来形象的解释： Optical thin films 通常意义的光学薄膜； Optical layers 光学薄膜的一个特点是分层结构；“膜系”、“膜堆”。 Optical coatings 一般来讲是指敷于光学玻璃、塑料、晶体等基底上的薄膜；覆盖、包裹物、涂层 “薄膜”——附着于“基底”、且与基底不同质的非自持性涂层。 Why thin and not thick films?