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扩散在线自动化 Diffusion Processing Automation System 规格参数（Specification） 型号（Model）: RTA-DIA20000HP-R/L 产能（Throughput）: 20000pcs/h 碎片率（Breakage rate）：≤0.02% 上线率（Uptime）: ≥98.5% 技术特点（Features） 上下料：花篮 Loading and unloading: Cassette 输出：石英舟 Output: quartz boat 可选方阻检测 Optional online square resistance 可选MES接口和远程诊断 Optional support MES interface and remote debug function OEE统计及能耗分析 OEE statistics Energy consumption analysis 工艺（Process） 适合125“/156“硅片 兼容不同尺寸的石英舟 Apply to 125/156 size wafers Compatible to different brands of wafer diffusion equipment and different sizes of quartz boat 尺寸参数（Dimension Drawings） PECVD在线自动化 PECVD Processing Automation System 规格参数（Specification） 型号（Model）: RTA-PE-TIA7200L1/L2 产能（Throughput）: 7200pcs/h 碎片率（Breakage rate）：≤0.05% 上线率（Uptime）: ≥98.5% 技术特点（Features） 上下料：花篮或堆叠 Loading and unloading: Cassette or Stack 输出：石墨舟 Output: graphite boat 实时温度监控 Boat temperature monitoring 可选在线色差/膜厚检测 Optional online color inspection 可选MES接口和远程诊断 Optional support MES interface and remote debug function OEE统计及能耗分析 OEE statistics Energy consumption analysis 工艺（Process） 适合125“/156“硅片 兼容不同尺寸的石墨舟或石墨框 Apply to 125/156 size wafers Compatible to different sizes of tube PECVD equipment and plate PECVD equipment 尺寸参数（Dimension Drawings） 一体式在线自动化 PECVD Processing Automation System 规格参数（Specification