公司有关2019度国家科技进步奖提名公示.PDFVIP

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  • 2019-02-18 发布于湖北
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公司有关2019度国家科技进步奖提名公示.PDF

公司关于2019年度国家科技进步奖提名公示 公司拟将“工业黄磷生产电子级磷酸关键技术及工业化应用”项 目申报2019年度国家科技进步奖,根据国家科技奖励工作办公室要 求,现将项目主要内容进行公示。自公布之日10 内,任何单位和个 人对公示项目、完成单位、个人有异议的,应实名并书面方式向技术 中心提出,并提供必要的证明和材料。 联系地址:湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道68号兴发集团技术中心 联系单位:兴发集团技术中心 联系人:王斌 一、项目名称 工业黄磷生产电子级磷酸关键技术及工业化应用 二、提名单位 中国石油和化学工业联合会 三、提名意见 我单位认真审阅了项目提名书及附件材料,审查了完成人资格, 确认全部材料真实有效,相关栏目均符合国家科技奖励工作办公室的 填写要求。 电子级化学品,是指为微电子工业配套的精细化工产品,是电子 工业的关键基础化学材料,支撑着集成电路制造、平板显示、太阳能 电池等高新技术产业。电子级磷酸及磷酸系蚀刻液产品作为集成电路 制造过程中所使用的重要化学品,其生产关键技术和装备长期被国外 化工企业所垄断,严重制约着我国集成电路产业发展的安全性和稳定 性。 作为我国精细磷化工龙头企业的湖北兴发化工集团股份有限公 司,从2006年开始,在国家科技部、发改委、工信部和湖北省重大 专项等支持下,围绕国家化学和电子工业重大战略需求,与中科院过 程工程研究所、武汉工程大学、湖北兴福电子材料有限公司合作开展 技术攻关,突破国外技术封锁,相继发明了高纯黄磷与电子级磷酸生 产关键技术,实现了规模化工业生产,首先突破了电子级磷酸的进口 替代难题,并开发了芯片用磷酸系蚀刻液,极大地推动了我国集成电 路制造等高新技术领域的发展。 该项目成果在国内5家企业推广应用,建成7条生产线。近三年 新增销售收入22.12 亿元,新增利润2.84 亿元,创汇5450 万美元。 产品销往三星电子、新加坡格罗方德和中芯国际、华虹宏力等国内外 知名电子企业,实现了电子级磷酸的国产化和参与国际市场竞争的重 31 11 大突破。该项目共拥有知识产权 件,其中授权发明专利 件、获 批国家标准1项,整体技术达到国际先进水平,对电子级磷酸产品中 砷、锑等杂质的控制技术居国际领先水平。 经审查,提名书及附件材料真实有效,相关栏目填写均符合国家 科技奖励要求,候选人、候选单位、知识产权和应用单位经公示无异 议。 提名该项目为国家科学技术进步奖 二 等奖。 四、项目简介 该项目属于精细化工领域。 集成电路 (简称芯片)是信息产业的重要基础,直接关乎国家安 全和经济发展。近年来我国芯片产业发展迅速,但高端芯片仍然高度 依赖进口。2018年4 月爆发的“中兴事件”凸显了我国芯片产业的软肋, 更显关键技术与产品国产化的紧迫性。电子级磷酸用于芯片制造中的 蚀刻工艺,是芯片制造不可缺少的化学品,其主流生产工艺是黄磷燃 烧水合法。由于我国缺乏工业黄磷深度纯化制备高纯黄磷关键技术, 同时不能攻克高温下设备腐蚀带入金属离子的难题,导致电子级磷酸 生产核心技术和关键设备长期被美、德、日等发达国家垄断,严重制 约我国芯片等高技术产业的发展。在科技部、发改委和湖北省重大专 项支持下,经过多年的系统研究,该项目攻克了以工业黄磷为原料生 产电子级磷酸的关键技术,实现了工业化应用,取得以下自主创新成 果。 1、创新了工业黄磷逐级纯化技术,打破了发达国家长期垄断。 针对工业黄磷杂质难去除的关键技术难题,自主创新了活性炭吸附、 硝酸氧化和连续化减压真空精馏的组合工艺,并成功应用于工业黄磷 1 / 的逐级提纯净化,建成 万吨年高纯黄磷生产装置,产品纯度> 99.9999% As Sb ≤10μg/kg , 、 含量均 。 2、自主开发了动态磷酸酐膜阻隔防腐蚀技术和电子级磷酸组合 反应新工艺和新设备,填补了电子级磷酸国内空白。针对黄磷燃烧和 高温五氧化二磷水合过程中设备腐蚀,以及由此带来的金属离子杂质 污染等技术难题,自主开发了动态磷酸酐膜阻隔防腐技术多级喷淋冷 却水合吸收组合反应技术

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