开发高介电复晶矽闸极绝缘层与薄膜电晶体以及高介电感测元件.PDF

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 開發高介電複晶矽閘極絕緣層與薄膜電晶體以及高介電感 測元件(I) 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-182-060- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年07月31日 執 行 單 位 ： 長庚大學電子工程學系 計 畫 主 持 人 ： 高泉豪 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：賴培倫 碩士班研究生-兼任助理人員：鄭詩男 碩士班研究生-兼任助理人員：黃詮祐 碩士班研究生-兼任助理人員：黃清樺 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文