气相外延氮化稼掺杂生长的研究.PDF

第 卷 第 期 高 等 学 校 化 学 学 报 , 年 气相外延氮化稼掺杂生长 的研究 孟广耀 彭定坤 胡克鳌 楼 吉人 席兰芝 韩 星 中国科学技术大学化学系 摘 要 本 文 报 导 了用 一 一 一 犷 系统进 行 掺 杂生 长 的研 究 实 验 结 果指 出 锌 向 外延 层 的并 入和 生 长层 的表 面 形貌 显 著地 受各 淀 积 参数特别 是 淀 积 温度 的影 响 发现 存在一 个 狭 窄的温 度 范 围 我们 实验 条件下 , “ , 该 温 范 围 , 然 入 生 长 层 , 生 长 层 具 的 面 在 度 内 锌骤 并 且 有 良好 表 此 外 , 还 进 行 了锌和磷双掺 杂 的初 步探 索试验 , 结 果表 明有必要 对其进一 步开 展 研 究 生 长层 中杂质 的深度 分布 的分析 发现 磷和 锌 的掺入 行 为 不 同 根据 实验 , 了 生 的 出 了一 生 事实 讨论 锌掺 杂和 晶体 长过程 机 理 并提 个掺 杂 长 的合理程 序 , 氮 化嫁是 一 族 化合 物半 导体 具有 宽 的禁 带 室 温下为 和直接跃迁 型 。 的能带 结构 , 作 为一种 新 型 固体发 光材料得 到广泛 而逐步深入 的研 究 生 长氮 化 单 晶薄 一 采 用 化亚 氨解 的气相 延 法 〔 〕 近 来 , 掺 嫁 膜 般 氯 嫁 外 卜 年 杂 工 分 , 迄 , 相 积 法 〔 的 和 入 〔 〕 了 的 作亦十 活跃 今 用 化 学汽 淀 卜 离子注 法 进 行 三十 多种 元素