激光诱导化学反应刻蚀石英玻璃的试验研究-激光与红外杂志.PDF

第４８卷　 第３期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４８，Ｎｏ．３ 　 ２０１８年３月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｍａｒｃｈ，２０１８ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１８）０３０２９１０８ ·激光应用技术 · 激光诱导化学反应刻蚀石英玻璃的实验研究 丛启东，袁根福，章　辰，郭百澄 （江南大学机械工程学院，江苏 无锡２１４１２２） 摘　要：针对目前常用的超短脉冲激光加工、激光诱导等离子加工、纳秒紫外激光加工石英玻 璃刻蚀率低下的问题，提出一种能够大范围、高刻蚀率、低裂损刻蚀石英玻璃的新方法，即利用 １０６４ｎｍ红外激光诱导Ｂａ（ＯＨ）化学反应刻蚀。本文主要从不同能量密度激光诱导化学反应 ２ ２ 刻蚀机理进行分析，实验表明，当激光能量密度超过１６Ｊ／ｃｍ 时，石英玻璃被刻蚀；当激光能 ２ 量密度在１６～２４Ｊ／ｃｍ 之间时，仅物理作用去蚀石英玻璃，故刻蚀率随激光能量变化较小；当 ２ 激光能量密度在２４～４２Ｊ／ｃｍ 之间时，刻蚀率随激光能量密度变化较大，该阶段Ｂａ（ＯＨ）以 ２ 及其分解生成的ＢａＯ在高温条件下都与石英玻璃主要成分ＳｉＯ发生化学反应并生成ＢａＳｉＯ， ２ ３ ２ 故刻蚀率较高；激光能量密度在４２～４６Ｊ／ｃｍ时，化学反应速率趋于饱和，故该阶段刻蚀率随 激光能量密度变化较小。 关键词：激光技术；石英玻璃刻蚀；化学作用机理；刻蚀率 中图分类号：ＴＮ２４９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１８．０３．００４ Ｓｔｕｄｙｏｎｑｕａｒｔｚｇｌａｓｓｅｔｃｈｅｄｂｙｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｃｈｅｍｉｃａｌｒｅａｃｔｉｏｎ ＣＯＮＧＱｉｄｏｎｇ，ＹＵＡＮＧｅｎｆｕ，ＺＨＡＮＧＣｈｅｎ，ＧＵＯＢａｉｃｈｅｎｇ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＪｉａｎｇｎａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｗｕｘｉ２１４１２２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｓｔｈｅｃｏｍｍｏｎｌａｓｅｒｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｍｅｔｈｏｄｓｓｕｃｈａｓｕｌｔｒａｓｈｏｒｔｐｕｌｓｅｌａｓｅｒｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ，ｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｐｌａｓｍａ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ，ｎａｎｏｓｅｃｏｎｄｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｌａｓｅｒｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｈａｖｅｌｏｗｃｏｒｒｏｓｉｏｎｒａｔｅｆｏｒｑｕａｒｔｚｇｌａｓｓ，ａｎｅｗｅｔｃｈｉｎｇｍｅｔｈｏｄｆｏｒ ｑｕａｒｔｚｇｌａｓｓｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ，ａｎｄｉｔｈａｓｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｗｉｄｅｒａｎｇｅ，ｈｉｇｈｃｏｒｒｏｓｉｏｎｒａｔｅａｎｄｌｏｗｆｒａｃｔｕｒｅ．Ｔｈｅｅｔｃｈｉｎｇ ｍｅｃｈａｎｉｓｍｏｆｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｃｈｅｍｉｃａｌｒｅａｃｔｉｏｎｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｅｎｅｒｇｙｄｅｎｓｉｔｉｅｓｗａｓａｎａｌｙｚｅｄ．Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｈｏｗｓｔｈａｔ