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- 2019-02-20 发布于上海
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承诺书
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南京航空航天大学硕士学位论文
南京航空航天大学硕士学位论文
基于干膜掩模的电解加工微小凹坑阵列试验研究
基于干膜掩模的电解加工微小凹坑阵列试验研究
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摘 要
物体表面具有一定的表面织构会对其摩擦特性产生明显影响,作为表面织构的一种,微坑 阵列结构常被应用于活塞缸套等物体表面,起到储油减磨的效果。加工微坑阵列的方法有多种, 其中掩模电解加工由于加工效率高,工具电极无损耗,加工表面质量好,无残余变形等优点, 在加工微坑阵列方面有独特的优势。本文提出使用干膜制备掩模并进行基于干膜掩模的电解加 工微坑阵列试验研究,主要完成的工作如下:
(1)开展了基于干膜的掩模制备试验研究,提出一种新的掩模制备的光刻工艺方法,并研 究了曝光时间、显影时间等对其结果的影响,优选了参数。为后续掩模电解加工试验奠定了
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