基于干膜掩模的电解加工微小凹坑阵列试验研究-机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

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  • 2019-02-20 发布于上海
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基于干膜掩模的电解加工微小凹坑阵列试验研究-机械制造及其自动化专业论文.docx

承诺书 本人声明所呈交的博/硕士学位论文是本人在导师指导下 进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和 致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究 成果,也不包含为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学 位或证书而使用过的材料。 本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部 分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本承诺书) 作者签名: 日 期: 南京航空航天大学硕士学位论文 南京航空航天大学硕士学位论文 基于干膜掩模的电解加工微小凹坑阵列试验研究 基于干膜掩模的电解加工微小凹坑阵列试验研究 I I PAGE PAGE IV 摘 要 物体表面具有一定的表面织构会对其摩擦特性产生明显影响,作为表面织构的一种,微坑 阵列结构常被应用于活塞缸套等物体表面,起到储油减磨的效果。加工微坑阵列的方法有多种, 其中掩模电解加工由于加工效率高,工具电极无损耗,加工表面质量好,无残余变形等优点, 在加工微坑阵列方面有独特的优势。本文提出使用干膜制备掩模并进行基于干膜掩模的电解加 工微坑阵列试验研究,主要完成的工作如下: (1)开展了基于干膜的掩模制备试验研究,提出一种新的掩模制备的光刻工艺方法,并研 究了曝光时间、显影时间等对其结果的影响,优选了参数。为后续掩模电解加工试验奠定了

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