钛合金表面非平衡磁控溅射制备TiN薄膜的冲击磨损性能-中国表面工程.PDF

第 23 卷 第 4 期 中 国 表 面 工 程 Vol.23 No.4 2010 年 8 月 CHINA SURFACE ENGINEERING August 2010 第 4 期 王艳等 ：钛合金表面非平衡磁控溅射制备 TiN 薄膜的冲击磨损性能 49 doi: 10.3969/j.issn.1007−9289.2010.04.002 钛合金表面非平衡磁控溅射制备TiN 薄膜的冲击磨损性能* 王 艳 1,2 ，周仲荣 1 (1.西南交通大学 摩擦学研究所 ，成都 610031 ；2.西华大学 材料科学与工程学院 ，成都 610039) 摘 要：文中利用非平衡磁控溅射技术在 Ti6Al4V 合金表面沉积 TiN 薄膜。固定冲击频率、改变冲击载荷，在小载 荷冲击磨损试验机上进行了系列周次的冲击磨损试验 ，用台阶仪、扫描电子显微镜、X 射线衍射仪分析磨痕深度、形 貌及相结构 ，并探讨了 TiN 薄膜的磨损机理。试验表明 ：TiN 薄膜的冲击磨损机理主要为塑性变形和疲劳剥落 ，与基 体材料作比较 ，TiN 薄膜破坏的临界冲击周次比基体材料 Ti6Al4V 合金明显提高 。 关键词：TiN 薄膜 ；Ti6Al4V 合金 ；冲击磨损性能 ；磨损机理 中图分类号：TG117.3; O484.4 文献标识码：A 文章编号：1007–9289(20 10)04–0007–04 Impact Wear Performance of TiN Film Grown on Ti Alloys by Unbalanced Magnetron Sputtering WANG Yan1,2 , ZHOU Zhong–rong1 (1.Tribology Research Institute, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031; 2.College of Material Science and Engineering, Xihua University, Chengdu 610039) Abstract: TiN films were grown by unbalanced magnetron sputtering on Ti6Al4V. The impact wear tests of TiN films were carried out with a small load impact–wear testing machine by fixed–frequency and different impact–force. The depth, morphologies and phase structure of worn surface were characterized with surface profilometer, scanning electron microscope(SEM), X–ray diffraction (XRD), and the wear mechanism of the TiN films was discussed in detail. The results indicate the wear mechanism of the TiN films were plastic deformation and fatigue flake. As compared with the Ti6Al4V, TiN films have higher critical impact number. Key words: TiN film; Ti6Al4V alloy; impact–wear performance; wear mechanism 0 引 言 TiN薄膜件承受 的是动态冲击磨损，如各种人工关 节、