温度传感器的详情.pptVIP

其动态响应时间为50μs，线性度好，可在1200℃下长期工作，可快速检测锻模具外壁面、燃气动力机壁面的瞬变温度，此外还可广泛应用于高空大气环境的测量以及沸腾换热表面瞬态温度的快速检测等。 5.2 红外温度传感器 5.2.5 热电堆 热电堆相当于若干薄膜热电偶串接，结电压相加，提高测温的响应度。由于半导体材料的赛贝克系数比金属材料大，所以它更适合作温度传感器。早先的红外热电堆探测器是利用掩膜真空镀膜的方法，将热电偶材料沉积到塑料或陶瓷衬底上获得的，但器件的尺寸较大，且不易批量生产。随着微电子技术的蓬勃发展，提出了微电子机械系统的概念，进而发展了微机械红外热电堆探测器。 5.2 红外温度传感器 5.2 红外温度传感器 1.热电堆结构 为建立热结区与冷结区的有效热传导，需要构建一定的隔热结构，现在主要通过薄膜来实现。应用的薄膜结构有两类，即悬臂梁结构 (图ａ)和 圆形薄膜结构(图ｂ)。 2 3 5.2 红外温度传感器 悬臂梁则是指周围为气氛介质所包围，一端固定、一端悬空的膜结构，其中膜亦为复合介质膜。热电堆、热结区以及红外吸收区都在膜上。热结位于红外吸收区附近,当吸收红外辐射之后,此处即成为高温区域；冷结区位于硅衬底上,经导热性良好的单晶硅将热迅速散发,形成低温区域。 其中圆形薄膜是指热堆的支撑膜