原创力文档- 1016
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- 2021-06-03 发布于四川
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- | 2007-12-02 颁布
- | 2008-06-01 实施
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犑７８
中华人 民共和 国国家 标准
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犌犅犜３１６３ ２００７
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ＧＢＴ３１６３ １９９３
真空技术 术语
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ＩＳａｃｕｕｍｔｅｃｈｎｏｌｏ Ｖｏｃａｂｕｌａｒ ＭＯＤ
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２００７１２０２发布 ２００８０６０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
／ —
犌犅犜３１６３ ２００７
目 次
前言 Ⅲ
１ 范围 １
２ 一般术语 １
３ 真空泵及有关术语 ６
４ 真空计 １３
５ 真空系统及有关术语 １９
６ 检漏及有关术语 ２５
７ 真空镀膜技术 ２７
８ 真空干燥和冷冻干燥 ３２
９ 表面分析技术
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