西格玛精密平台.PDFVIP

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  • 2019-07-03 发布于湖北
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Motorized Stages (压电陶瓷) SFS-H 西格玛精密平台 中空型XY压电陶瓷平台 SFS-120XY(WA) 采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。 应用系统 SFS-H 光学元件· 薄膜产品 ◦采用了独特的数字位移传感器,可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷 平台。 镜架

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