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一次实际的光刻工过程.pptVIP

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  • 2019-02-24 发布于江苏
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一次实际的光刻工过程.ppt

    一次实际的光刻加工过程 解泽哲 光刻是通过一系列生产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。在此之后，晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。通过光刻工艺过程，最终在晶圆上保留的是特征图形部分。 利用cvd生长出石墨烯,并转移至氧化生成 的SiO2基底上 ? 石墨烯 中科院URE-2000S/A型紫外光刻机 第一次光刻加工工艺 ? 石墨烯 ? 石墨烯 Si SiO2(300nm) 金属 光刻胶 ? 石墨烯 Si SiO2(300nm) ? 光刻胶 ? ? 第二次光刻加工工艺 光刻胶 掩膜板（复杂图形） 显影液 曝光系统 电子刻

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