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红外探测器用BST热释电材料研究 第 PAGE \* Arabic \* MERGEFORMAT 12 页第 PAGE \* Arabic \* MERGEFORMAT 12 页 华中科技大学电子科学与技术系 课程设计报告 ( 2010 – 2011 年度第一学期) 名称：电子器件制备工艺课程设计 题目：红外探测器用BST热释电材料研究 2011年1月21日  概述及发展现状 近年来热释电红外探测器和探测器阵列由于具有非制冷、光谱响应、性价比高等优点已引起红外技术的重大变革。与此同时，热释电红外探测器灵敏元件热释电材料也成为了研究的热点。在众多的热释电材料中钛酸锶钡(BST)材料，凭借其优异的性能，获得了广泛关注。 和能够很好的混合、相溶, 而不产生任何相凝聚，钛酸锶钡即是 和的固溶体。BST材料兼具和 两者的性质，具有低漏导电流密度、低介质损耗、低介电常数温度、高介电常数、热释电系数及其居里点温度可依据浅比值可调等特点， 广泛应用于微波调谐器、移相器、动态随机存储器、热释电红外探测器和滤波器等方面。随着科技发展需求的进一步提高，尽管铁电钛酸锶钡材料具有优异的电学、光学等性能，但在各个应用领域却还远远没有达到人们所期望的高性能指标，这在一定程度上阻碍了科学技术的发展。因此进一步提高BST材料的性能，是下一步研究的必然趋势。 BST陶瓷的介电损耗一般可达1％～2％