- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
纳米压痕法确定TSV-Cu的应力-应变关系-金属学报
第50 卷 第6 期 Vol.50 No.6
2014 年6 月 第722-726 页 ACTA METALLURGICA SINICA Jun. 2014 pp.722-726
纳米压痕法确定TSV-Cu 的应力-应变关系*
秦 飞 项 敏 武 伟
(北京工业大学机械工程与应用电子技术学院, 北京100124)
摘要 为得到硅通孔电镀填充铜(TSV-Cu) 的力学性能, 对TSV-Cu 进行了Berkovich 纳米压痕实验. 基于Oliver-Pharr 算法
和连续刚度法确定TSV-Cu 的弹性模量和硬度分别为155.47 GPa 和2.47 GPa; 采用有限元数值模拟对纳米压痕加载过程进
行反演分析, 通过对比最大模拟载荷与最大实验载荷, 确定TSV-Cu 的特征应力和特征应变; 由量纲函数确定的应变强化指
数为0.4892; 将上述实验结果代入幂强化模型中, 确定TSV-Cu 的屈服强度为47.91 MPa. 最终确定了TSV-Cu 的幂函数型弹
塑性应力-应变关系.
关键词 硅通孔电镀填充铜, 纳米压痕, 弹性模量, 屈服强度, 应变强化指数
中图法分类号 TG425.1 文献标识码 A 文章编号 0412-1961(2014)06-0722-05
THE STRESS-STRAIN RELATIONSHIP OF TSV-Cu
DETERMINED BY NANOINDENTATION
QIN Fei, XIANG Min, WU Wei
College of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technology, Beijing University of Technology, Beijing
100124
Correspondent: QIN Fei, professor, Tel: (010) E-mail: qfei@
Supported by National Natural Science Foundation of China (No
Manuscript received 2013-12-03, in revised form 2014-03-18
ABSTRACT In 3D electronic package technologies, through silicon via (TSV) plays a critical important role.
TSVs are usually fully filled by electroplating copper, namely TSV-Cu, which has very different mechanical proper-
ties from bulk copper. To obtain the mechanical properties of the TSV- Cu, the Berkovich nanoindentation tests
were conducted, and the Oliver-Pharr algorithm and the continuous stiffness measurement method were used to ac-
quire the elastic modulus and hardness. Then finite element modeling (FEM) simulations are adopted for re
您可能关注的文档
- 石油化工行业周报20180730—20180805.PDF
- 石油和化工类专业生产实习带队教师企业实地培训内容简介.PDF
- 石灰改良南阳膨胀土的强度特征与微观机理研究-路基工程.PDF
- 石油污染物在滨海盐渍土中的迁移规律-工程地质学报.PDF
- 石英砂介质中甲烷水合物生成过程和相平衡的试验-石油与天然气化工.PDF
- 矿区土地复垦界面要素的演替规律及其调控研究中国科技论文在线.PDF
- 矿物科学的理论结构-中国科技论文在线.PDF
- 矿床工业类型.PPT
- 矿泉水瓶和饮料瓶的主要危害重复使用.PPT
- 矿用通风机性能曲线图的函数化再现-矿业工程研究-湖南科技大学.PDF
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)练习题库包含答案.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)模拟题库和答案.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)模拟考试试卷附带答案.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)考前冲刺练习题和答案.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)考前冲刺练习题包含答案.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)考前冲刺练习题库.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)考前冲刺练习题库包含答案.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)考前冲刺训练试卷.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)考前冲刺训练试卷包括详细解答.docx
- 2022-2023年中药学类之中药学(中级)考前冲刺训练试卷含答案讲解.docx
文档评论(0)