电子厂房洁净室系统.ppt

* 电 子 厂洁 净 室 系 统简 介 大 纲 HJT C/R 介紹 洁净室系统型式 为何需要Clean Room 洁净室的定义 洁净等级定义 制程线宽与洁净度之关系 Clean Room之环境因子 影响C/R洁净度的环境因子 风管系统 FFU系統 轴流风机系统 架构表及主要系统介绍 Layout 说明 MAU与空气循环系统 洁 净 室 的 定 义 洁净室为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而给于特别设计之房间以符合制程工艺之需求 回主画面 洁　净　等　级 回主画面 制程线宽与洁净度之关系 回主画面 污　染　物　大　小 0.3um粒径 肉眼可视粒径 人类头发直径-100um 回主画面 影响C/R洁净度之环境因子 温度 湿度 压力 微尘粒子 照度 微振动 噪声 静电 化学物质 回主画面 洁净室空调系统型式 风管系统 FFU系統 轴流风机系统 以风管输送洁净空气 循环空调箱兼处理外气 天花空间为微负压气室 独立设置外气空调箱 天花空间为正压气室 独立设置外气空调箱 回主画面 风管系统(循环空调箱兼处理外气) 洁净度、温度及湿度控制 FFU系統(独立设置外气空调箱) 洁净度控制 温度控制 湿度控制 温度控制 轴流风机系统(独