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反射高能电子衍射 Reflection high energy electron diffraction 反射高能电子衍射是高能电子 衍射的一种工作模式。它将能量为 10～50keV 的单能电子掠射 (1°～3°) 到晶体表面，在向前散射方向收集电 子束，或将衍射束显示于荧光屏。 简介 一幅反射高能衍射图只能给出 倒易空间 （见倒易点阵）某个二维截 面，从衍射点之间的距离可确定相应 的晶面间距。旋转样品，可以在荧光 屏上得到不同方位角的二维倒易截 面，从而仍可获得表面结构的全部对 称信息。 由于在晶体中电子散射截面远大 于X 射线的散射截面，加之掠射角 小，从而使反射高能衍射与低能电子 衍射一样具有表面灵敏度（约10～ 40┱）,但它不仅限于作单晶表面结构 分析，也可用于多晶、孪晶、无定形 表面及微粒样品的表面结构分析。 反射高能电子衍射得到广泛运用 是与分子束外延技术发展有关。它可 用于原位观察外延膜生长情况，为改 进生长条件提供依据。与低能电子的 情况有所不同，高能电子束与晶体相 互作用中非弹性散射较弱，其强度分 析的理论还处于探索之中 装置 最简单的电子衍射装置。从阴极K 发 出的电子被加速后经过阳极 A 的光 阑孔和透镜L 到达试样S 上，被试样 衍射后在荧光屏或照相底板 P 上形 成电子衍射图样。由于物质（包括空 气）对电子的吸收很强，故上述各部 分均置于真空中。电子的加速电压一 般为数万伏至十万伏左右，称高能电 子衍射。为了研究表面结构，电子加 速电压也可低达数千甚至数十伏，这 种装置称低能电子衍射装置。 模式 电子衍射可用于研究厚度小于 0.2 微米的薄膜结构，或大块试样的 表面结构。前一种情况称透射电子衍 射,后一种称反射电子衍射。作反射电 子衍射时，电子束与试样表面的夹角 很小，一般在1 ゜～2 ゜以内，称掠射 角。 自从60 年代以来，商品透射电子 显微镜都具有电子衍射功能（见电子 显微镜），而且可以利用试样后面的 透镜，选择小至1 微米的区域进行衍 射观察，称为选区电子衍射，而在试 样之后不用任何透镜的情形称高分 辨电子衍射。带有扫描装置的透射电 子显微镜可以选择小至数千埃甚至 数百埃的区域作电子衍射观察，称微 区衍射。入射电子束一般聚焦在照相 底板上，但也可以聚焦在试样上，此 时称会聚束电子衍射. 理论 电子衍射和X 射线衍射一样，也 遵循布喇格公式2dsinθ=λ （见X 射 线衍射）。当入射电子束与晶面簇的 夹角θ、晶面间距和电子束波长λ 三 者之间满足布喇格公式时，则沿此晶 面簇对入射束的反射方向有衍射束 产生。电子衍射虽电子衍射与X 射线 衍射有相同的几何原理。但它们的物 理内容不同。在与晶体相互作用时， X 射线受到晶体中电子云的散射，而 电子受到原子核及其外层电子所形 成势场的散射。除以上用布喇格公式 或用倒易点阵和反射球来描述产生 电子衍射的衍射几何原理外,严格的 电子衍射理论从薛定谔方程Hψ=Eψ 出发,式中ψ 为电子波函数，E 表示 电子的总能量，H 为哈密顿算子，它 包括电子从外电场得到的动能和在 晶体静电场中的势能。若解此方程时， 考虑到其势能远小于动能，认为衍射 束远弱于入射束，忽略掉方程中的二 级小量，则所得的解称运动学解，此 解与上述衍射几何原理相一致。建立 在薛定谔方程运动学解基础上的电 子衍射理论称电子衍射运动学理论， 此理论的物理内容是忽略了衍射波 与入射波之间以及衍射波彼此之间 的相互作用。若在解方程时作较高级 的近似，例如认为衍射束中除一束 （或二束、或三束、……、或n-1 束） 外均远弱于入射束,则所得的解称双 光束(或三光束、或四光束、……、或 n 光束）动力学解。建立在动力学解 基础上的电子衍射理论称电子衍射 动力学理论。 衍射图