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- 2019-04-08 发布于天津
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KW-4T匀胶机使用说明书.PDF
KW-4T 匀胶机使用说明书
一、 概述
KW 型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。
匀胶机稳定的转速和快速的启动 ,可以保证胶厚度的一致性和均匀性。
KW4T 型匀胶机有六个转速 ,转速及相应的时间分别可调。在甩 2 英寸以
上样片时,启动后先以低速运转 ,使胶摊开 ,然后自动变到高速运转。在甩小样
片时 ,启动后可直接用高速 。
在安装结构上 ,采取了减震措施 ,在运转时噪音很低 。
适用于 4T 型Φ5 至Φ 100mm;5 型Φ 100 至Φ200mm 硅片及其它材料等
匀胶。
请先阅读本说明书第三部分—注意事项
二、 使用方法
具体步骤如下 :
1、选择合适的片托 ,(略小于样片尺寸)将缺口对准螺钉 。片托安装时一定要
到底。
2、确保外围连接无误后 ,插上设备后部的交流 220V 电源线,按下前面板的
“POWER”键 ,设备开关上的指示灯亮 ;液晶屏幕出现以下开机界面 ,1-2 秒
后,自动切换进入设置界面,如图 2。
图 1 开机界面
图 2 设置界面
3、
根据实际需求 ,选用不同的阶段 ,进行设置 。轻触 “速度”与 “时间”对
应的文本栏 ,会弹出图 3,键盘界面 。
图 3 键盘
当大于三阶段时,请轻触界面上 “更多工艺”按钮 ,弹出图 4 界面 ,进行设
置。设置步骤参考图 2
图 4 4-5 阶段界
4、设置完成后 ,轻触界面上 “吸片”键 ,会听到设备内清脆的电磁阀吸合声音 ,
此时 “开始”键由灰色变成绿色 ,等待 2 秒后再轻触 “开始”键 ,设备开始运
行 。在界面右侧的 “当前状态”会实时显示对应的阶段、速度以及剩余时间 。
图 5 运行状态
在运行过程中 ,如果需要停止/暂停 ,可以分别轻触 “停止”/ “暂停”键 。
区别:“停止”键按下后 ,电磁阀切断气路,样片可以取下 ,
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