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激光激发新型声表面波气体传感器 Gas sensor based on detecting the SAW generated by laser 论文结构 摘要 引言 结果与分析 讨论 原理 摘要 提出了一种利用激光激发声表面波，通过气体吸附性薄膜对被测气体进行检测的传感原理。激光在覆有选择性气体吸附膜的铝块表面激发出声表面波，后者沿铝块表面传播。在吸附性薄膜与被测气体发生反应后，声表面波的强度被改变；然后利用PMT(光电倍增管)，通过单芯光纤耦合的反射式光束偏转法探测由半导体激光器发出的探测光束，所检测的光强的变化反映了被检测气体的浓度，从而实现被测气体的浓度测量。 引言 随着工业化的进程和人们生活水平的提高，空气质量成为人们日益关注的问题，气体传感器也因此成为倍受人们关注的研究课题。在众多的气体传感器中，SAW气体传感器的开发和应用受到了广泛的关注并获得了长足的进步。 传统的SAW气体传感器大多采用金属叉指换能器(IDT)制成的，但传统的声电换能器由于固有的缺点，如频响低，接触式等，越来越多的被这二十年来发展起来的光学方法来代替，光学方法可以分为干涉法和非干涉法。并且有一个趋势，即光纤化，光纤传感器由于固有的诸多优点，例如小巧灵活，抗干扰强，易于微型化和集成化，已越来越多的被用在超声检测中，替代己有的复杂光路检测手段。由于光学技术的不断提高，这方