扫描探针显微镜系列及其应用综述.pdf

( ) 2003 年 2 月 西安电子科技大学学报 自然科学版 Feb . 2003 第 30 卷 　第 1 期 　 J OU RNAL 　O F 　XI D IAN 　UN IV ER S I TY 　 Vol . 30 　No . 1 扫描探针显微镜系列及其应用综述 田文 超 , 贾 建 援 (西安电子科技大学 机电工程学院 ,陕西 西安 　710071) 摘要 : 扫描探针显微镜将人类带入原子世界 ,使人类不仅能够观察到物质表面原子的排布情况 ,而且能 够按照人类的意图实现原子操纵. 回顾了扫描探针显微镜的历史 ,介绍了目前国际上各种系列的扫描探 针显微镜基本原理 、主要特点、研究现状和最新应用情况 ,重点介绍了原子操纵和生命科学 、信息科学领 域的应用 ,提出了扫描探针显微镜 目前的研究方向. 关键词 : 扫描探针显微镜 ;扫描隧道显微镜 ;原子力显微镜 ;原子操纵 ;纳米技术 ( ) 中图分类号 :TH742 　　文献标识码 :A 　　文章编号 2003 Overvie w of the mechanisms and applications of the scanning probe microscope series TIAN Wenchao , J IA J iany uan ( School of Electromechanical Engineering , Xidian Univ. , Xi ′an 　710071 , China) Abstract : 　The Scanning Probe Microscope ( SPM) , which was invented for imaging the topographic at the atomic level , becomes a method for manipulating the single atom and fabricating nanometerscale structures on the solid surface and for the realization of singleatom and singleelectron devices. This capability makes it increasingly attractive and powerful for use in diverse areas , such as gene engineering , life science , material science , biotechnology and surface technology. The histories of the Scanning Probe Microscopy are introduced in this paper , followed by the principles , character