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MEMS与传感器
MEMS器件与技术
MEMS and Sensors
MEMS Device Technology
石墨烯压力传感器的研究进展
蒋圣伟 ,师 帅 ,袁娇娇 ,方 靖 ,徐春林 ,汪 学方
( , )
华 中科技大学 机械 科学与工程学 院 微 系统中心 武汉 430074
: , 、 、
摘要 对 几种 石 墨烯压 力传感 器的研究进展 进行了 综述 包括 压 力传感 器结构 原 理 及 其 电学
力 学与机械 等性 能的研究 ,并指 出了各种 石 墨烯压 力传感 器的优 缺 点 。从 中可 以发 现 ,石 墨烯压
力传感 器 比硅压 力传感 器具有 更优 异 的性 能 ,包括 高量程 、高灵敏度以及 纳米级 尺 寸 。这 些优点
预 示石 墨烯压 力传感 器将 有望在 更多场合得 到应 用 ,如在 生物 医学领域 可被 用来检 测人 体内部血
压或 者组 织压 力 。 目前 ,石 墨烯压 力传感 器的研究主要是理论与实验研究 ,实现商业化还需要 一
段时 间 ,但 是 石 墨烯 的制备 已实现商业化 ,石 墨烯压 力传感 器也将走进人们 的生活 。
: ; ; ; ;
关键词 石 墨烯 压 力传感 器 高量程 高灵敏度 纳米级
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
TP212 A 1671-4776 2013 07-0447-06
ResearchProressesofGra heneBasedPressureSensors
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Jian Shen wei ShiShuai YuanJiaoiao Fan Jin XuChunlin Wan Xuefan
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