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五、工业激光器介绍 1、CO2气体激光器 CO2气体激光器的工作物质: 工作物质为:CO2、N2、He混合气体,比例:6%、28%、66%; CO2分子:受激辐射发射激光 N2分子:传递能量给CO2分子 He分子:冷却作用,阻止CO2气体温度上升 五、工业激光器介绍 CO2激光器的分类: (1)根据气体流动方式分类: 封闭管式:工作气体在谐振腔中不流动; 慢 流 式:工作气体在谐振腔中缓慢流动; 横 流 式:工作气体在谐振腔中流动方向与光束传播方向垂直; 轴 流 式:工作气体在谐振腔中流动方向与光束传播方向同轴; (2)根据激励方式分类: 普通直流高压激励:交流升压—高压整流(16kV); 逆变直流高压激励:交流变频—低压整流—直流升压(16kV); 射频激励:采用无线电波的频率进行激励; (3)根据谐振腔形式分类: 单管直腔式:光束在直线式的腔中振荡,通常用于慢流式激光器中; 折叠腔式:内部光路中增加折叠镜,增加激光的振荡长度以提高功率; 五、工业激光器介绍 横流式CO2激光器 高频激励横流CO2激光器系统 1. 激光束 2. 切向排风机3. 气流方向 4. 热交换器5. 后镜 6. 折叠镜7. 高频电极8. 输出镜9. 输出窗口 ? 一般气流的流动速度较慢,将热量从放电腔中带走。 五、工业激光器介绍 轴流式CO2激光器 快速轴流CO2激光器系统 几个功能部件在谐振腔中采用了光学串联方式连接,这样既提高了功率,同时又保持了各部分独立设计的特点。 管中产生放电同时,激光气体混合物沿放电管高速流动,以保证热量的有效散失。 这种激光器提供的光束质量能满足多种激光加工应用。 五、工业激光器介绍 板条式扩散冷却CO2激光器系统 扩散冷却CO2激光器 射频气体在两个大面积铜电极之间放电,电极间隙很小,放电腔中通过水冷电极可达到很好的散热效果,或的相对较高的能量密度。 结构紧凑、坚固,气体消耗小。 五、工业激光器介绍 扩散冷却CO2激光器 特点 1. 非常紧凑和几乎无磨损的结构; 2. 光束质量好; 3. 无气体换热要求; 4. 光损失低,均采用铜镜; 5. 热稳定性高,采用钻石窗口; 6. 气体消耗量低,无需外部气体; 7. 没有气体流动,因此光学谐振腔 无污染; 8.维护、运行成本低。 2.5kW 板条式CO2激光器 五、工业激光器介绍 中心电路 光束输出 谐振腔外壳 气瓶 五、工业激光器介绍 光束输出 射频电源 真空泵 五、工业激光器介绍 五、工业激光器介绍 激光器类型: 横流 轴流 扩散冷却 输出功率等级: 3~45kW 1.5~20kW 0.2~3.5kW 脉冲能力: DC DC-1kHz DC-5kHz 光束模式: TEM02以上 TEM00-TEM01 TEM00-TEM01 光束传播系数(K) ?0.15 ?0.5 0.9 气体消耗: 小 大 极小 电-光转换效率: ?15% ?15% ?30% 焊接效果: 较好 好 优良 切割效果: 差 好 优良 相变硬化: 好 一般
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