第三章经典传感器技术-Read.ppt

第三章 经典传感器技术 b) 压阻式压力传感器 c) 压阻式传感器处理电路 1.1. 3 电容式压力传感器 1.2 加速度传感器 1.2.2 微型结构 1.4. 1 霍尔磁传感器 1.4. 2 磁阻式传感器 1.4. 3 磁通门传感器 b) 传感器电路： M M c) 问题： 温度性能差 翻转效应的影响 d) 解决方法： 铝补偿磁场带 铝置位/复位带 铁镍合金电阻 He1= Hx + Hmsinωt （实线） He2= Hx - Hmsinωt （虚线） Hs B H (b) Hx ωt (c) ωt u (f) u ωt (e) ωt B (d) 2π π u + – 被测磁场 Hx 激励线圈 测量线圈 a) 原理 b) 电路 激励电源 选频放大 相敏整流 C1 输出电压 C2 Uo ①开环电路： ②闭环电路 激励电源 选 频 放 大 相 敏 整 流 积 分 器 Rf C1 输出电压 C2 Uo Rc 直流电阻 Hx N:线圈匝数 l:线圈长度 骨架 铁心 测量线圈 激励线圈 c) 结构 激励线圈 测量 线圈 ie + – u ie + – u ie + u – ie + – u 基 片 铁心 绝 缘 层 金属2 金属1 金属1 过孔 （b）：平面螺线管 线圈 铁心 铁心 绝缘层 基 片 （a）：平面线圈 d) 微型结构 ① ② ③ ④