热处理温度对溶胶凝胶法制备ZnOSn薄膜性能的影响.PDFVIP

第34 卷第1 期 《陶瓷学报》 Vol. 34, No. 1 2013 年3 月 JOURNAL OF CERAMICS Mar. 2013 文章编号：1000- 2278（2013）01- 0005- 06 热处理温度对溶胶凝胶法制备ZnO:Sn薄膜性能的影响 陈俊 胡跃辉 胡鸿豪 张效华 陈义川 陈新华 （景德镇陶瓷学院机械电子工程学院，江西景德镇333000） 摘 要 采用溶胶- 凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌（ZnO:Sn）透明导电薄膜，研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结 构、光电特性的影响。采用X 射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外- 可见光光度计（UV- VIS）和四探针法等分析方法 对ZnO:Sn 薄膜进行分析表征，结果表明：在300℃温度下干燥 10min 后，在700℃空气中退火1h 制备出的ZnO:S