原创力文档- 1、本文档共18页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
本规范规定了化学机械抛光机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于微组装薄膜工艺和硅晶圆的抛光工艺中的化学机械抛光机的设计、生产、检验、验收和订购，其他微组装制造工艺设备或其他行业的类似设备也可参照执行。
您可能关注的文档
- SHT 0026-1990 石油焦挥发分测定法.pdf
- SHT 1141-2015 工业用裂解碳四的烃类组成测定气相色谱法.pdf
- SHT 1493-2015 碳四烯烃中微量羰基化合物含量的测定分光光度法.pdf
- SHT 1502-2014 丁苯胶乳中结合苯乙烯含量的测定折光指数法.pdf
- SHT 1776-2014 工业用乙烯、丙烯中微量氯的测定微库仑法.pdf
- SHT 1778-2014 化学级丙烯纯度与烃类杂质的测定气相色谱法.pdf
- SHT 1779-2014 1，2，4-三甲基苯.pdf
- SHT 1780-2015 异戊二烯橡胶（IR）.pdf
- SHT 1782-2015 工业用异戊二烯纯度和烃类杂质含量的测定气相色谱法.pdf
- SHT 1784-2015 工业用异戊二烯中微量抽提剂含量的测定气相色谱法.pdf
文档评论（0）