硅片工艺改进分报告及改进计划.pptVIP

HK000L8P_PrjTrophy_Analyst Presentation_0806.ppt 目录 改进前工艺 HCT工程师改进工艺 目前改进后工艺 问题分析 目前工艺分析 改进计划 辅助行动 改进前工艺 线速:13m/s 工作台速度:350um/min 钢线规格:140um/780km 导轮槽距:370um 滑轮更换:2刀/次 砂浆袋更换:5刀/次 HCT工程师改进工艺 线速:14.8m/s 工作台速度:320um/min 钢线规格:120um/780km 导轮槽距:335um 滑轮更换:2刀/次 砂浆袋更换:5刀/次 目前改进工艺 线速:13m/s 工作台速度:270um/min 钢线规格:120um/780km 导轮槽距:340um 滑轮更换:1刀/次 砂浆袋更换:2刀/次 问题分析 1.HCT工程师改进工艺残余问题分析 (1)速度过高,皮带断裂 W08、W09在改进工艺之前对皮带进行过检查,但在当晚切割时发现皮带断裂,分析原因可能是速度过高,在速度变动时皮带所受拉力将比原来所受力大,导致皮带拉长,使皮带在皮带轮上移位而拉断. 问题分析 (2)断线率过高 目前工艺分析 HCT工程师设定工艺分析 设P为走线系数,即工作台每下降1um时所切割用钢线的尺寸 注:以下分析假设切割长度相同,钢线