面向声表面波煤矿瓦斯传感器制备的压电薄膜研究-西安科技大学.DOC

项目名称：面向声表面波煤矿瓦斯传感器制备的压电薄膜研究 主要完成人：张涛，马宏伟，赵省贵，王素芳，庞华锋，李敏，梁付君，朱华泽 完成单位：西安科技大学 项目简介： 煤矿瓦斯事故是煤矿安全的最大威胁之一，事故破坏性强，灾后可救援性差，严重制约着我国煤矿安全生产和煤炭经济的健康发展。预防瓦斯事故，关键在于准确、及时的瓦斯浓度监测与检测。因而先进、高精度的瓦斯传感技术成为煤矿安全研究领域的热点。 压电薄膜基声表面波瓦斯传感技术能够及时、精确、方便的监测煤矿瓦斯分布，从而能够有效提高煤矿瓦斯监测能力，降低煤矿瓦斯事故发生率，减少人员伤亡与矿产资源损失。压电薄膜基声表面波瓦斯传感器，具有体积小、灵敏度高、工作稳定、生产成本低、易于集成化等独特优点，并将有机集成煤矿瓦斯检测和瓦斯突出预测两大功能，有效提高煤矿瓦斯监防能力。 在压电薄膜基微型传感器制备中，高压电系数、高机械品质因数的压电薄膜是该类传感器制备的关键部分。硅基压电薄膜的性能，直接决定了微型机电传感器的灵敏度和工作稳定性。锆钛酸铅（Pb（Zrx,Ti1-x）O3, 即PZT）是一种性能出色的压电材料，其具有比ZnO和AlN薄膜更高的压电系数和机电耦合系数。但是，PZT材料的机械品质因数较小，尤其是PZT薄膜，其机械品质因数低则几十，高也只有几百，使得其谐振带宽过宽，机械损耗大，直接限制了它在谐振器和传感器等方面的应用，因而如