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用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高.PDFVIP

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  • 2019-08-18 发布于北京
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用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高.PDF

    用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高.PDF

    21 4 Vol21 No.4 2000 12 CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE Dec., 2000 研究快报 用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相 沉积的方法制备高质量氧化锌 膜 楚振生, 李炳生, 刘益春, 申德振, 范希武, 刘毅南 ( , 130021; , 130021) : (PECVD) ( 0002)ZnOX-ray , , 220n ZnO : ; ; : O4823 : A : 1000-7032(2000)04-0383-02 ,, 1X , , ,2 , , , ZnO ( E = 337eV)

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