用反射法自动测量大尺寸样品的折射率分布-高电压技术高电压技术.PDF

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32 7 Vol. 32 No.7 2003 7 ACTA HOTONICA SINICA July 2003 1, 2 1, 2 1 1 郝爱花 高应俊 阮 驰 王学忠 ( 1 , , 710068) (2 , 510632) 针对大尺寸样品的折射率分布测量, 引 自动扫描装置和适时数据处理系统, 研究出一种 高灵敏度的智能化反射法折射率分布测量仪, 可进行快速自动准确的折射率分布测量经理论 分析和实验研究提出了一套合理的实验数据处理方法并具体介绍和详尽分析了实验装置, 讨论 了有关理论和实验误差, 给出了消除各种误差的有效方法, 最终得出较为理想的实验结果 折射率分布测量; 反射法; 自动扫描; 适时处理 TH7414 A , 0 , , , , [ 1] , , , , , , , , , , , , , 1 1. 1 , [ 9] , , , P r( r) n(r) - n0 2 [2] [3] [4,5] R ( r) = = ( 1) P i n(r) + n0 [6,7] R ( r) r , P ( r) , r , , , Pi , , n0 ( , ( 30 ) , n( r ) ( ~ 50 mm ) , ) n 0 , , ( 1) , P ( r) r , P i, n( r) , , 1. 2 [8] ,

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