沸石转轮系统焖烧风险防控.pdfVIP

2016 NO.31 科技创新导报 工 程 技 术 Science and Technology Innovation Herald DOI：10.16660/j.cnki.1674-098X.2016.31.027 沸石转轮系统焖烧风险防控 1 1 2 2 付笃 杨晓春 严晨圆 陈娟 (1.中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 上海 201203;2.上海达恩贝拉环境科技发展有限公司 上海 200127) 摘 要 随着VOCs治理的要求日趋严格，适用于治理大风量、低浓度的沸石转轮系统在芯片制造业VOCs废气治理中的应用越来 ： 越广泛。然而，在实际应用过程中，可能发生沸石转轮焖燃等风险事故。该文以焖烧风险防控分析为基础，从降低VOCs残留、提 高脱附效率、强化监控措施、强化风险防范及设备维护保养、加强风险管理制度等方面，为国内芯片制造企业提供加强风险防控 的建议。 关键词 芯片制造业 沸石转轮 VOC治理 风险防范 ： 中图分类号 X78 文献标识码 A 文章编号 1674—098X(2016)11(a)—0027—04 ： ： ： 当今，我国芯片制造行业正在飞速发展，行业技术日新月 然而，芯片制造企业在采用沸石转轮法治理有机废气的 异，产品规模持续走高。芯片生产制造过程中，VOCs排放量 实践应用过程中，常发生沸石转轮焖燃等风险事故，存在一 也日趋显著。 定的风险隐患[1]。 目前国内外对VOC的末端治理方法有：冷凝、吸附、氧 因此，调查并总结沸石转轮系统运行过程中潜在的风 化、生物处理、吸收、等离子体净化等。针对芯片制造业有 险隐患，寻找预防、改善或解决途径，对沸石转轮系统在 机废气的产生特点，以沸石材料为载体的吸附浓缩法处理 芯片制造业更安全、稳定、高效地运行具有非常重要的意 VOC废气 （沸石转轮）得到了较为广泛的应用。 义。 1 研究背景 2 焖烧事故原因分析 随着新的《大气污染防治法》（主席令第31号）、《大 焖烧事故分析：通过对业界某次沸石转轮焖烧事故开 气污染防治行动计划》（国发[2013]37号）、挥发性有机物 展的调查分析发现，导致焖烧事故的原因主要有如下几个方 （VOCs）污染防治技术政策（环保部公告2013年第31号）等 面。 政策、文件的相继出台，全国对VOCs污染物防治的要求和 （1）发生焖燃的沸石转轮系统由于长期运行，其转轮内 力度逐渐加强。 部积聚了较高浓度的高沸点物质。 芯片制造业生产过程中使用大量的有机溶剂作为清洗 （2）企业沸石转轮的脱附风机运行频率设置偏低，使得 剂、光刻胶、剥离液、稀释液等，故产生一定量的VOCs废气， 脱附效率降低，更多VOCs残留在沸石转轮内部，未有效脱 废气通常具有大风量、低浓度等特点。为了有效地治理芯片 除，在长期运行已有的VOCs残留基础上进一步积聚。 制造业VOCs废气，适用于大风量、低浓度废气治理的沸石 （3）该套沸石转轮虽内置水喷淋头，并设有自动控制系 转轮吸附浓缩法成为了行之有效的优选治理方案。 统，但在焖燃过程中失效，无法正常运行，导致燃烧蔓延。 表1 调查的焖烧事故情况简介 事故类型 事件经过