压电陶瓷微位移机械装置的研究-硬件和射频工程师.PDFVIP

维普资讯 一 94一 《机械设计与制造》 Apr．2004 No．2 Machinery Design ＆ Manufacture 文章编号 ：1001—3997(2004)02—0094—02 压电陶瓷微位移机械装置的研究★ 何 勇 吴 栋 吴子明 姬会东 (南京理工大学电光学院，南京 210094) 摘【要】参考反射镜的位移标定，在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度 ．根据移相干涉的 要求和压电陶瓷的特点，设计了推动参考反射镜作微位移的机械装置，通过实验测量出其微位移量 表 明，设计的装置使反射镜移相的非线性为 1．73％。 关键词 移相法 ；干涉仪 ；微位移装置 中图分类号 ：TH16 文献标识码 ：C 1引言 干涉场光强表达式为： 近 20年来，移相干涉技术 P【haseShiftingInterferomeny]【1l ，f