扫描电子显微镜测量靶丸表面形貌.PDFVIP

　第33卷第4期 原 子 能 科 学 技 术 . 33, . 4 V o l N o 　1999年7月 A tom ic Energy Science and T echno logy Ju ly 1999 扫描电子显微镜测量靶丸表面形貌 王明达　高党忠　刘元琼　罗　青　袁玉萍 ( 中国工程物理研究院核物理与化学研究所, 成都, 610003) 介绍了用扫描电子显微镜监测靶丸 4表面形貌的方法。为此研制了对惯性约束聚变靶丸 4 搓动的扫描电子显微镜样品台, 对靶丸的旋转精度为 2 m 。它提供了观察靶丸缺陷的最佳方法, 可 为惯性约束聚变实验精选靶丸。 关键词　惯性约束聚变靶　靶丸　扫描电子显微镜　表面形貌 中图法分类号　 766. 1　 632. 1 O TL