中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司环评表.doc

PAGE 建设项目环境影响报告表 项 目 名 称 ：IC生产线用真空获得系统国产化基地建设项目 建设单位（盖章）: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 编制日期： 2016年3月 国家环境保护总局制 《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。 1．项目名称——指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）。 2．建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。 3．行业类别——按国标填写。 4．总投资——指项目投资总额。 5．主要环境保护目标 —— 指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。 6．结论与建议 —— 给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其它建议。 7．预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。 8．审批意见——由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。 建设项目基本情况 项目名称 IC生产线用真空获得系统国产化基地建设项目 建设单位 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 法人代表 雷震霖 联系人 曹英涛 通讯地址 沈阳市浑南区新源街1号 联系电话传 真邮政 编码 110000 建设地点 沈阳市浑南区新源街1号 立项审批 部门 沈阳市浑南区发展和改革局 批准文号 沈浑发改备字[2016]30号 建设性质 改扩建 行业类别 及代码 机械制造 占地面积 (㎡) 2900 绿化面积 (㎡) / 总投资 (万元) 10000 其中：环保投资 （万元） 15 环保投资比例(%) 0.15 评价经费 （万元） 预期投产日期 2017.12 工程内容及规模： 1. 项目由来 在集成电路（IC）生产线种类众多的整机装备中，70%左右都需要洁净真空的工艺环境。真空获得系统是关键的洁净真空子系统，其作用是获得、维持与控制IC装备整机洁净真空运行环境，是一个直接影响到 IC 成套设备性能质量的必不可少的基础产品，在生产线中应用最为普遍，市场需求巨大。 在生产线实际应用表明，虽然国产真空获得系统技术指标达到了国外同类产品水平，但因受国内精密加工能力薄弱和检测试验验证手段缺失因素所限，在可靠性、稳定性及一致性方面与国际先进水平相比仍存在一定差距，制约了国产真空获得系统在集成电路生产线上的批量化生产应用。 为提高国内精密加工能力和完善检测试验验证手段，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司向沈阳市发改委提出了《IC生产线用真空获得系统国产化基地建设》的申请， 并完成了备案工作。项目审批备案确认书见附件1。 根据《建设项目环境保护管理条例》(国务院第253号令)、环境保护部《建设项目环境影响评价分类管理名录》(环保部第33号令)及《中华人民共和国环境影响评价法》中的有关规定，需对建设项目进行环境影响评价，编写环境影响评价报告表。辽宁唐龙技术咨询有限公司接受了中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司委托对本项目进行环境影响评价，环境影响评价技术人员在收集资料、现场踏勘、走访调查的基础上，通过工程分析，污染源调查，环境现状监测，环境影响预测和评价，编制了本项目环境影响报告表。 2、项目概况 建设项目计划投资10000万元，拟建于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（沈阳市浑南区新源街1号）厂区内，建设期自2016年1月——2017年12月。项目建成后，可以形成具有国际同类产品水平的自主创新产品——应用于IC生产线用真空获得系统国产化生产基地，项目预计三年达产，即2017年12月实现年产1000台应用于IC生产线用真空获得系统的生产能力。 本项目拟改建/利用中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司现有闲置厂房进行建设，项目占地面积2900m2，建筑面积 3、建设项目内容及规模 本项目在现有真空获得系统成果的基础上，通过建设高效精密加工生产线及先进的检测、测试、验证平台，引入数字化研发及车间管理系统，实现对物料、控制平台、加工、装配及测试等干泵生产关键环节的有效控制，形成批量化集成电路真空获得系统精密高效制造能力，从根本上解决现有产品与国外同类产品在可靠性、稳定性、一致性等性能指标上的差距。同时借助互联网优势组建大型互联网监控系统，建立产品运行监控数据库，开发专用系统软件，形成覆盖全国主要城市和地区的互联网远程监测及诊断维护平台，增加真空获得设备的远程监控维护特性，最终研制出具有国际先进水平和完全自主产权的包括罗茨干泵、涡旋干泵、螺杆干泵、离子泵在内的9种型号的