2019年设备配置及技术规格要求.docVIP

设备配置及技术规格要求 包A: 场发射扫描电子显微镜 1套 1. 工作条件 1.1 环境温度 20±5℃ 1.2 相对湿度 65% 1.3 电源 220V(±10%), 50Hz 1.4 连续工作时间 连续操作 2. 技术说明 2.1 该仪器由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探头、能量过滤器(r-filter)、电子束减速装置(GB)、X射线能谱等、附件和零部件组成。矚慫润厲钐瘗睞枥庑赖賃軔朧碍鳝绢懣硯涛镕頃赎巯驂雞虯从躜鞯烧。 2.2 技术参数 *2.2.1 分辨率 1.0nm (at 15 kV) 1.4 nm (at 1 kV) 2.2.2 加速电压 ：0.1kv ~ 30 kV SEM模式：0.5kv ~ 30kv GB减速模式：0.1kv~3.5kv *2.2.3 电子束流 最小束流≤1pA；最大束流≥1.7nA *2.2.4 放大倍数 x25 ~ x1,000,000 低放大模式：x25 ~ x19,000 普通放大模式：x100 ~ x1,000,000 2.3 电子光学系统 2.3.1 电子枪 场发射 2.3.2 对中 自动 *2.3.3 光栏孔径角最优控制镜 标配 2.3.4 物镜 强励磁圆锥形物镜 2.3.5 像散器 自动消像散记忆功能 2.3.6 r-过滤器：标配（利用二次电子探头可以得到二次电子像和二次电子与背散射像的不同比例的混合像）聞創沟燴鐺險爱氇谴净祸測樅锯鳗鲮詣鋃陉蛮苎覺藍驳驂签拋敘睑绑。 2.3.7 电子束减速装置（GB）：标配（可以保证低电压下的1.4nm的分辨率） 2.4 样品室和样品台 2.4.1样品台 全对中样品台 *2.4.2 类型 五轴（X；Y；R；T；Z）马达驱动样品台 *2.4.3 行程 X≥60mm; Y≥48mm; Z≥25mm 2.4.4 倾斜 -5~700 2.4.5 旋转 3600连续 2.4.6 样品更换 快速气锁更换样品 2.4.7 真空系统 2.4.7.1自动真空抽气及诊断系统 2.4.7.2真空度：≤10-7Pa (电子枪)；≤10-4Pa (样品室) *2.4.7.3真空泵：分子泵（磁悬浮型）≥296L/S；机械泵≥130L/Min；离子泵×3台 2.4.7.4保护：断电、漏电、真空保护 2.4.7.5带有冷阱减小样品污染 *2.4.8 主动式减震系统标配 2.5 探测器 *2.5.1二次电子探头：提供高位二次电子探头和低位二次电子探头（两个探测器） *2.5.2 背散射电子探头：提供高灵敏半导体背散射电子探头 2.6 X射线能谱仪性能指标 2.6.1 高效高分辨能谱仪探测器 (电制冷，即开即用) 2.6.1.1元素分析范围: Be--Am(95) 2.6.1.2探测器晶体面积: 30平方毫米 *2.6.1.3 分辨率: 优于 129 eV，MnKa线,（2000cps～100000cps分辨率保持不变）。C元素分辨率优于55eV残骛楼諍锩瀨濟溆塹籟婭骒東戇鳖納们怿碩洒強缦骟飴顢歡窃緞駔蚂。 *2.6.1.4 晶体类型：第五代水滴形SDD晶体，低噪音嵌入式场效应管 2.6.1.5 封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。 2.6.1.6 开机时间：即开即用，开机30秒即可达到正常工作状态。 *2.6.1.7致冷方式：电致冷，无需液氮，无需离子泵，水冷，压缩机等附属致冷设备 2.6.1.8工作温度：零下25-30度。 2.6.1.9日常维护：完全免维护，无任何消耗品 *2.6.2.0最大输入计数:1,000,000cps，最大输出计数:400,000cps 2.6.3 X－射线分析系统 2.6.3.1采用具有自动选择最佳时间常数的数模混合处理器 2.6.3.1.1独立的零峰设计，自动和手动的能谱校正，处理器硬件过滤“和”峰 *2.6.3.1.2数字电子束控制系统:可与任意型号的扫描电镜连接，保证图像质量与电镜图像一致。 2.6.4能谱仪分析软件 *1)方便快捷的Windows XP操作系统，中英文软件界面 2)分析数据及参数采用项目文件统一管理； 3)智能化的自动定性分析工具；自动谱峰鉴定；自动背底修正； 4)定量分析系统，进行自动实时的背底扣除,重叠峰剥离和得到定量分析结果； 5)加强的Phi-Rho-Z用于最新矩阵修正计算； 6)可视化的谱峰拟合剥离，有效鉴别重叠峰； 7)谱图和分析数据可一键转换为Word格式文档或PDF文档格式 2