三坐标测量机振动隔离措施.pdfVIP

三坐标隔振系统 精密测量面临的现状 随着社会的进步和发展，机械加工已经进入了精密和超精密时代。三坐标测量机是现代精密和超 精密加工工厂检测的重要设备，然而由于车辆的走动和机加工设备的运转等周围嘈杂的环境，使三坐 标测量机时刻处于剧烈的振动环境中，尤其是低频振动和冲击，对三坐标测量机要完成精密测量和快 速测量产生产生的影响是不可接受的，这也影响生产厂家的生产效率，所以增加三坐标测量设备的动 态稳定性，是非常有必要的。 三坐标测量振动干扰源 三坐标周围区域的振源激励，都会使三坐标测量机的基 础产生运动，这些振源激励可能是周边行驶的车辆，也可能 是附近的其他工作设备，甚至是车间人员的走动，这些振动 对我们来说可能感觉不明显，甚至感觉不到。但对于精密的 检测设备，这些运动与力在多数情况下都会引起测头、测量 机各轴的测量系统和被测件之间的相对位移从而使三坐标测 量机的精度下降。 （大概10米远的人迈开一步在振动测量仪上的显示） 传统隔振措施 传统上对三坐标的隔振措施一般采取挖隔振沟的方式，但隔振沟有它的局限性，隔振沟对于冲击 振动或频率大于30Hz的振动隔振沟部分的隔振效果（主要是水平径向振动，垂直方向振动没有多大 效果）；对于低频振动则效果甚微，甚至几乎没有什么效果。 隔振沟的效果主要取决于沟深与表面波的波长之比。低频振动的表面波波长一般都在十几米到几 十米，因此要隔离低频的表面波，就需要将隔振沟挖到十几米深，在实际应用中，这种操作是很难实 现的，成本也是难以接受的。 气浮隔振 随着技术的进步，现在气浮隔振器的固有频率可以做到1Hz左右，对低频振动的表面波也可起到 非常好的隔振效果，且成本已不高于传统挖隔振沟的方式，因此采用气浮隔振逐渐被三坐标使用厂家 所接受，气浮隔振方案提供了几乎“无振动”环境，从而使三坐标的测量精度和测量速度得到显著的 提升。 采用气浮隔振也避免了隔振沟需要额外场地的和移机不便的劣势。 德国Fabreeka隔振系统 Fabreeka的精密气浮式减振系统采用伺服控制的空气弹簧。在需要同时控制高度和振动的条件 下，这种减振器是非常理想的。Fabreeka PAL减振器满足了计量器具，电子显微镜，检测设备和业 密加工设备的严格要求。 标准的Fabreeka PAL减振器拥有低至 1.7Hz的固有频率。某些订制产品的固有频 率可以低到0.5Hz 。 完整的FabreekaPAL系统包含至少3个 主动减振器（因为3点决定一个平面）。每个 主动减振器都有一个水平调节阀，它是负载 传感器和高度控制单元。可以根据设备有重 量增加所需从动减振器的数量。 减振系统会配置一个控制盒，高度自动控制阀，连接管路和其他安装用的配件。 PAL气浮减振器性能 PAL减振器可以自动回复到原定的水平位置，进而对于支撑负载的变化和重心的转移做出快速的 反应。 气浮式减振系统的性能是需要在减振器固有频率、水平调节阀的精度和系统回复稳定时间这三个 因素之间相互协调的。 对于一个确定的输入干扰振动，回复稳定时间是指减振器回复到初始设定位置的时间。这个干扰 可以是处界的或者是机器本身引起的，例如龙门吊架或者机台的运行。 最短的回复稳定时间取决于最佳的阻尼和对应的阀流量。回复稳定时间过长的气浮式减振器是不 可接收的，因为精密测量和定位机械可能会因此产生重复性误差和生产效率的下降。 针对不同的案例，Fabreeka可以提供不同的水平调节阀。在减振方案的设计中，阀的流量、刚 度和精度都是主要参数。Fabreeka水平调节阀的精度可以达到+/-0.15mm或+/-0.025mm。阀的流量和 刚度可以根据减振器的设计和阻尼来选择。 PAL气浮减振器的技术参数