基于悬臂梁增强型光声光谱的SF6特征分解组分H2S定量检测分析-电气工程专业论文.docxVIP

重庆大学 重庆大学硕士学位论文 英文摘要 PAGE PAGE IV was measured. Experimental study on quantitative detection of trace H2S in N2 and SF6 background gas were conducted respectively, and quantitative analysis model based on the least square regression were built. The detection limit of the CEPAS system for trace H2S in N2 was calculated as 0.84*10-6, and H2S in SF6 was 1.75*10-6. The impacts of gas temperature and pressure on the CEPAS detection were studied by experiment The effectiveness of CEPAS system measurement results were evaluated by comparing with the Gas chromatograph-mass spectrometer. Keywords：SF6 characteristic decomposition components, H2S, cantilever enhanced photoacoustic spectrometry, the least square method, quantitative analysis 重庆大学硕 重庆大学硕士学位论文 目 录 目 录 中文摘要I 英文摘要 II 1 绪 论 1 1.1 SF6 特征分解组分的检测意义 1 1.2 SF6 特征分解组分检测方法研究现状 2 1.3 CEPAS 痕量气体检测技术研究现状 3 1.3.1 PAS 及 CEPAS 痕量气体检测技术概述 3 1.3.2 PAS 气体检测技术的发展与研究现状 5 1.3.3 CEPAS 痕量气体检测技术研究现状 7 1.4 论文的主要研究内容 8 1.5 本章小结 8 2 CEPAS 痕量气体检测技术原理 9 2.1 气体红外吸收光谱理论 9 2.1.1 分子产生红外吸收的条件 9 2.1.2 谱线增宽和线型函数 10 2.1.3 比尔朗博定律 12 2.2 PAS 痕量气体检测基本原理 13 2.3 悬臂梁传声器检测光声信号理论分析 14 2.3.1 悬臂梁的动态特性 16 2.3.2 样品池的体积效应 16 2.3.3 样品气体的热效应 17 2.3.4 悬臂梁框架间隙效应 18 2.3.5 气体的弛豫机制 19 2.3.6 CEPAS 系统频率响应 19 2.4 本章小结 20 3 CEPAS 痕量气体检测系统搭建 21 3.1 CEPAS 检测系统整体结构设计 21 3.2 红外光源与硫化氢吸收谱线选择 22 3.2.1 红外光源的选择 22 3.2.2 硫化氢吸收谱线的选择 24 3.3 DFB 激光器特性测试 27 3.3.1 温度对 DFB LD 输出波长的影响 27 3.3.2 注入电流对 DFB LD 输出波长的影响 28 3.4 硅微悬臂梁传声器的选择 29 3.5 其他辅助器件的选择 30 3.5.1 斩波器 30 3.5.2 动态配气系统 31 3.5 本章小结 32 HYPERLINK \l _TOC_250013 4 SF6 特征分解组分 H2S 定量检测研究 33 HYPERLINK \l _TOC_250012 4.1 H2S 红外吸收特性仿真研究 33 HYPERLINK \l _TOC_250011 4.1.1 温度对 H2S 红外吸收谱线的影响 33 HYPERLINK \l _TOC_250010 4.1.2 压强对 H2S 红外吸收特性的影响 35 HYPERLINK \l _TOC_250009 4.2 H2S 气体 CEPAS 检测特性试验研究 36 HYPERLINK \l _TOC_250008 H2S 气体 CEPAS 频率响应特性 36 HYPERLINK \l _TOC_250007 H2S 气体高分辨率 CEPAS 谱图 39 HYPERLINK \l _TOC_250006 4.3 N2 和 SF6 两种背景气体中痕量 H2S 定量分析 41 4.3.1 最小二乘回归方法 41 HYPERLINK \l _TOC_250005 4.3.