基于量子流体动力学模型的半导体器件模拟.pdfVIP

第2l卷 第 2期 电子设计工程 2013年 1月 Vo1．2l No．2 ElectronicDesignEngineering Jan．2013 基于量子流体动力学模型的半导体器件模拟 董果香 (电子科技大学 物理 电子学院，四川 成都 610054) 摘要 ：基于量子流体动力学模型 ，自主编制程序开发 了半导体器件仿真软件。其中包括快速 、准确数值离散方法和准 确的物理模型。基于时同一个si双极 晶体管的模拟 ，与商用软件有近似 的仿真结果。表明量子流体动力学模型具有 可行性，同时也表明数值算法和物理模型的正确性 关键词 ：量子流体动力学模型；仿真 ；物理模型：数值计算 中图分类号