激光光束光斑质量诊断技术研究及其标准化进展.PDFVIP

激光与光电子学进展 ， （ ） 犔犪狊犲狉牔犗狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊犘狉狅狉犲狊狊 Ｃ 《中国激光》杂志社 ４８０８１４０６２０１１ 狆 犵 ○２０１１ 激光光束光斑质量诊断技术研究及其标准化进展 尹志斌 陈 虹 王旭葆 左铁钏 　 　 　 　 （北京工业大学激光工程研究院，北京 １００１２４） 摘要 以现代激光工业制造为应用背景，探讨激光光束光斑质量诊断技术的发展。从光束束宽的定义出发，对比 　 了两种束宽定义方法的不同，阐述了光束质量诊断与光束束宽定义之间的关系。依据国家和国际标准，研究了光 束束宽、束散角测量和计算方法的发展，以基于空心探针原理的光束光斑质量诊断技术及设备为重点研究内容，介 绍了基于实测目的的测量方法。分析结果表明，以包含功率（或能量）占总功率百分比定义的束宽为基础，基于空 心探针原理的